特許

J-GLOBAL ID：200903039534955706

静電チャック付セラミックスヒーター

発明者： 川田 敦雄 ,  進藤 敏彦 ,  長尾 貴章 ,  掛川 健 ,  荒見 淳一 ,  石川 賢治
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社 ,  東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-316396
公開番号（公開出願番号）：特開平7-297267
出願日： 1994年12月20日
公開日（公表日）： 1995年11月10日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 本発明は半導体プロセスにおける昇降温プロセスに使用しても接合部に剥離が起らない静電チャック付セラミックスヒーターの提供を目的とするものである。【構成】 本発明の静電チャック付セラミックスヒーターは、電気絶縁性セラミックスからなる支持基材の表面に導電性セラミックスからなる静電チャック用電極を接合すると共に、裏面に導電性セラミックスからなる発熱層を接合し、それらの上に電気絶縁性セラミックスからなる被覆層を設けてなる静電チャック付セラミックスヒーターにおいて、該支持基材と該静電チャック用電極との線膨張係数の差、該支持基材と該発熱層との線膨張係数の差、該静電チャック用電極と該被覆層との線膨張係数の差および該発熱層と該被覆層との線膨張係数の差をともに1×10-6/°C以下としてなることを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

電気絶縁性セラミックスからなる支持基材の表面に導電性セラミックスからなる静電チャック用電極を接合すると共に、裏面に導電性セラミックスからなる発熱層を接合し、それらの上に電気絶縁性セラミックスからなる被覆層を設けてなる静電チャック付セラミックスヒーターにおいて、該支持基材と該静電チャック用電極との線膨張係数の差、該支持基材と該発熱層との線膨張係数の差、該静電チャック用電極と該被覆層との線膨張係数の差および該発熱層と該被覆層との線膨張係数の差をともに1×10-6/°C以下としてなることを特徴とする静電チャック付セラミックスヒーター。

IPC (9件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  C04B 37/00 ,  C04B 41/89 ,  H01L 21/265 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/324 ,  H02N 13/00 ,  H05B 3/14

FI (2件)：

H01L 21/265 E ,  H01L 21/30 567

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-358074
  
• 特開平3-194948
  
• ウエハー加熱装置及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-303289   出願人：日本碍子株式会社
• 静電チヤツク及び静電チヤツクに対する電圧印加方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-186854   出願人：東陶機器株式会社