静電容量型センサ回路

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：社本一夫 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-179549
公開番号（公開出願番号）：特開平11-023608
出願日： 1997年07月04日
公開日（公表日）： 1999年01月29日
要約：

【要約】【課題】静電容量型センサ素子の製造時のバラツキを較正する。【解決手段】スイッチS1、S4をオンし他のスイッチをオフして、入力電圧Vin及び調整電圧Vmをそれぞれ、センサ素子Cs、調整コンデンサCmに供給する。オペアンプ2のの入出力端間には帰還コンデンサCfが接続されており、該オペアンプの出力からの出力電圧は、Vout=-(Cs/Cf)(Vin-Vf)-(Cm/Cf)(Vm-Vf)+Vfで表される。従って、調整電圧Vmを調整することにより、センサ素子の容量値Csにバラツキがあっても、所定の入力電圧Vinの供給時に、一定の出力電圧Voutを得ることができる。

請求項（抜粋）：

静電容量の変化を電気信号として出力する静電容量型センサ回路において、入力電圧を発生する入力電圧発生手段と、発生された入力電圧が第1の端子に供給される静電容量型センサ素子と、該センサ素子の第2の端子に入力端子が接続された増幅器と、該増幅器の入力端子と出力端子との間に接続された帰還コンデンサと、調整電圧を発生する調整電圧発生手段と、発生された調整電圧が第1の端子に供給され、第2の端子にセンサ素子の第2の端子が接続された調整用コンデンサとを備え、調整用電圧を調整することにより、センサ素子のバラツキを較正可能にしたことを特徴とする静電容量型センサ回路。

IPC (3件)：

G01P 15/125 , G01D 5/241 , G01P 21/00

FI (3件)：

G01P 15/125 , G01P 21/00 , G01D 5/24 A

引用特許：

審査官引用 (10件)

特表平5-501159
特開平4-303775
力測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-269456 出願人：セーエスウーエム・サントル・スイス・デレクトロニク・エ・ドゥ・ミクロテクニク・エスアー・ルシェルシュ・エ・デヴェロプマン

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