感光性樹脂組成物、シリカ系被膜の形成方法、及びシリカ系被膜を備える装置及び部材

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：長谷川芳樹 , 寺崎史朗 , 赤堀龍吾 , 沖田英樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-166795
公開番号（公開出願番号）：特開2008-116904
出願日： 2007年06月25日
公開日（公表日）： 2008年05月22日
要約：

【課題】層間絶縁膜の形成が比較的容易であり、かつ形成される層間絶縁膜が耐熱性及び解像性に優れる感光性樹脂組成物及びそれを用いるシリカ系被膜の形成方法を提供すること。【解決手段】(a)成分:下記一般式(1)で表される化合物を含む第1のシラン化合物を加水分解縮合して得られるシロキサン樹脂と、(b)成分:加水分解性基を有する第2のシラン化合物と、(c)成分:(a)成分が溶解する溶媒と、(d)成分:ナフトキノンジアジドスルホン酸エステルとを含有する感光性樹脂組成物。[式(1)中、R1は有機基を示し、Aは2価の有機基を示し、Xは加水分解性基を示し、同一分子内の複数のXは同一でも異なっていてもよい。]【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(a)成分:下記一般式(1)で表される化合物を含む第1のシラン化合物を加水分解縮合して得られるシロキサン樹脂と、 (b)成分:加水分解性基を有する第2のシラン化合物と、 (c)成分:前記(a)成分が溶解する溶媒と、 (d)成分:ナフトキノンジアジドスルホン酸エステルと、を含有する感光性樹脂組成物。

IPC (2件)：

G03F 7/075 , H01L 21/027

FI (3件)：

G03F7/075 511 , G03F7/075 501 , H01L21/30 502R

Fターム (14件)：

2H025AA02 , 2H025AA10 , 2H025AC01 , 2H025AC04 , 2H025AC05 , 2H025AC06 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE01 , 2H025BF30 , 2H025BG00 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 2H025FA30

引用特許：

出願人引用 (2件)

感光性ポリシラザン組成物及びパタ-ン化されたポリシラザン膜の形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-283106 出願人：東燃株式会社
液晶表示素子の層間絶縁膜を形成するための感放射線性組成物、それから形成された層間絶縁膜、および液晶表示素子
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-274809 出願人：JSR株式会社

審査官引用 (1件)

感光性シロキサン組成物、それから形成された硬化膜、および硬化膜を有する素子
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-097272 出願人：東レ株式会社

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