特許
J-GLOBAL ID：200903028104759561

感光性シロキサン組成物、それから形成された硬化膜、および硬化膜を有する素子

発明者：
藤原 健典

藤原 健典 について

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飯森 弘和

飯森 弘和 について

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妹尾 将秀

妹尾 将秀 について

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諏訪 充史

諏訪 充史 について


出願人/特許権者：
東レ株式会社

東レ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-097272
公開番号（公開出願番号）：特開2006-276598
出願日： 2005年03月30日
公開日（公表日）： 2006年10月12日
要約：
【課題】塗布膜の白化や熱硬化時の、着色、パターンのリフロー、発泡、皺の発生が起こることなく、高解像度、高耐熱性、高透明性、低誘電率性の特性を有する、TFT基板用平坦化膜、層間絶縁膜、あるいは光導波路のコアやクラッド材の形成に用いられる高感度のポジ型感光性シロキサン組成物を提供する 【解決手段】(a)シロキサンポリマー、(b)キノンジアジド化合物、(c)シロキサンポリマーの架橋促進剤、(d)溶剤を含有することを特徴とする感光性シロキサン組成物。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
(a)シロキサンポリマー、(b)キノンジアジド化合物、(c)シロキサンポリマーの架橋促進剤、(d)溶剤を含有することを特徴とする感光性シロキサン組成物。
IPC (4件)：
G03F 7/023 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/075 ,  H01L 21/027
FI (4件)：
G03F7/023 ,  G03F7/004 503Z ,  G03F7/075 521 ,  H01L21/30 502R
Fターム (13件)：
2H025AA02 ,  2H025AA10 ,  2H025AB14 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AB20 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB33 ,  2H025CC17 ,  2H025CC20 ,  2H025FA29
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (8件)
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