特許
J-GLOBAL ID：200903039612929989
マイクロレンズ基板の製造方法及びこれにより得られたマイクロレンズ基板と、これを用いた液晶表示素子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 詔男 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-234787
公開番号（公開出願番号）：特開2001-056402
出願日： 1999年08月20日
公開日（公表日）： 2001年02月27日
要約：
【要約】【課題】 駆動基板との貼り合せを正確に行えるマイクロレンズ基板を提供すること。【解決手段】 ガラス基板1の表面にクロムの保護被膜を成膜し、円形の開口2をパターニングして開口マスク3とする。また、これと同一工程で重ね合せマーカX4を形成する。次に、重ね合せマーカX4を覆うように耐エッチングフィルム5を密着させ、湿式エッチングを行って半球状の凹部6を形成する。さらに、開口マスク3、耐エッチングフィルム5を順に剥離する。最後に、凹部6に高屈折率材料7を充填し、カバーガラス8を貼り合せ、マイクロレンズ基板9とする。
請求項（抜粋）：
第1の透明基板に複数の凹部を形成し、前記複数の凹部に前記第1の透明基板と屈折率の異なる材料を充填し、前記第1の透明基板よりも薄い第2の透明基板を貼り合せるマイクロレンズ基板の製造方法において、複数の開口が配列した保護被膜からなる開口マスクと、重ね合せマーカとを前記第1の透明基板上に同一工程で形成し、前記重ね合せマーカを耐浸食性保護フィルムで覆った後、前記開口マスクを介して湿式エッチングを行って前記複数の凹部を形成し、前記湿式エッチング終了後、前記保護被膜、前記耐浸食性保護フィルムをこの順で剥離し、次に前記複数の凹部に前記第1の透明基板と屈折率の異なる材料を充填し、最後に前記第2の透明基板を貼り合せることを特徴とするマイクロレンズ基板の製造方法。
IPC (3件)：
G02B 3/00
, C03C 15/00
, G02F 1/1335
G02B 3/00 A
, C03C 15/00 D
, G02F 1/1335
2H091FA29Y
, 2H091FA35Y
, 2H091FC10
, 2H091FC26
, 2H091FD12
, 2H091FD15
, 2H091GA03
, 2H091GA06
, 2H091LA12
, 4G059AA11
, 4G059AB06
, 4G059AC01
, 4G059AC30
, 4G059BB04
