微小レンズ及び微小レンズアレイ並びにそれらの製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：四宮通
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-319067
公開番号（公開出願番号）：特開平11-142607
出願日： 1997年11月05日
公開日（公表日）： 1999年05月28日
要約：

【要約】【課題】開口数が高いとともに形状精度の良い微小レンズを大量に安定して製造する。【解決手段】少なくとも1つの凹部1aが形成されたシリコン基板1を用意する。次に、微小レンズを構成するべき光学ガラス4を、基板1の凹部1aが埋め込まれるように、基板1上の全面に成膜する。その後、基板1上に形成された光学ガラス4のうち凹部1a以外の部分に形成された光学ガラス4を除去する。最後に、基板11を選択的に溶出することにより、基板から半球状の光学ガラス4、すなわち、微小レンズを分離する。

請求項（抜粋）：

第1の材料からなる基板に少なくとも1つの凹部を形成する段階と、前記少なくとも1つの凹部内に微小レンズを構成すべき第2の材料を埋め込む段階と、前記第2の材料を前記基板から分離する段階と、を備えたことを特徴とする微小レンズの製造方法。

引用特許：

審査官引用 (11件)

マイクロレンズアレイの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-259810 出願人：カシオ計算機株式会社
特開昭64-065501
特開昭64-065502

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