特許
J-GLOBAL ID：200903039631753697
アルカリ現像型光硬化性組成物及びそれを用いて得られる焼成物パタ-ン
発明者：
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-069611
公開番号（公開出願番号）：特開2003-270783
出願日： 2002年03月14日
公開日（公表日）： 2003年09月25日
要約：
【要約】【課題】 多量に無機微粉体を含有しても保存安定性(粘度安定性)や塗布作業性、アルカリ水溶液による現像性に優れると共に、焼成後パターンの反りや剥れなどを生じることなく、高精細、高アスペクト比のパターンを形成できるアルカリ現像型の光硬化性組成物を提供すること。【解決手段】 本発明のアルカリ現像型光硬化性組成物は、(A)芳香族環を有さない2官能エポキシ樹脂(a)と1分子中に少なくとも2つのカルボキシル基を有する芳香族環を有さない化合物(b)との重付加反応により得られる側鎖に水酸基を有する樹脂(A-1)に、多塩基酸無水物(c)を付加してなる、重量平均分子量が1,000〜100,000で酸価が50〜200mg/KOHである末端及び側鎖にカルボキシル基を有するアルカリ可溶性高分子バインダー、(B)無機粉体、(C)光重合性モノマ-、(E)光重合開始剤、及び(F)有機溶剤を含有することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
(A)芳香族環を有さない2官能エポキシ樹脂(a)と1分子中に少なくとも2つのカルボキシル基を有する芳香族環を有さない化合物(b)との重付加反応により得られる側鎖に水酸基を有する樹脂(A-1)に、多塩基酸無水物(c)を付加してなる、重量平均分子量が1,000〜100,000で酸価が50〜200mg/KOHである末端及び側鎖にカルボキシル基を有するアルカリ可溶性高分子バインダー、(B)無機粉体、(C)光重合性モノマ-、(D)光重合開始剤、及び(E)有機溶剤を含有することを特徴とするアルカリ現像型光硬化性組成物。
IPC (8件)：
G03F 7/032
, C08F 2/44
, C08F291/06
, G03F 7/004 501
, G03F 7/027 502
, G03F 7/40 501
, H01B 1/20
, H01B 3/00
G03F 7/032
, C08F 2/44 A
, C08F 2/44 C
, C08F291/06
, G03F 7/004 501
, G03F 7/027 502
, G03F 7/40 501
, H01B 1/20 A
, H01B 1/20 B
, H01B 3/00 A
, H01B 3/00 G
2H025AA04
, 2H025AB15
, 2H025AB17
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC14
, 2H025BC42
, 2H025BC51
, 2H025CA01
, 2H025CA18
, 2H025CA27
, 2H025CA28
, 2H025CB43
, 2H025CB51
, 2H025CB55
, 2H025CC03
, 2H025CC08
, 2H025FA03
, 2H025FA17
, 2H025FA29
, 2H096AA26
, 2H096AA27
, 2H096BA05
, 2H096BA20
, 2H096EA02
, 2H096GA08
, 2H096HA01
, 2H096JA04
, 2H096LA16
, 4J011PA03
, 4J011PA04
, 4J011PA15
, 4J011PA86
, 4J011PA90
, 4J011PB27
, 4J011PC08
, 4J011QA02
, 4J011QA03
, 4J011QA34
, 4J011RA08
, 4J011RA12
, 4J011RA15
, 4J011UA01
, 4J011WA01
, 4J026AB19
, 4J026AC23
, 4J026AC35
, 4J026BA21
, 4J026DB36
, 4J026FA05
, 4J026GA07
, 5G301DA03
, 5G301DA42
, 5G301DD01
, 5G301DD08
, 5G303AA07
, 5G303BA07
, 5G303CA01
, 5G303CA02
, 5G303CA09
