特許
J-GLOBAL ID：200903039654160570
薄膜トランジスタアレイおよびその検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-057346
公開番号（公開出願番号）：特開平7-270820
出願日： 1994年03月28日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：
【要約】【目的】 薄膜トランジスタアレイの基板面積を大きくすることなく信号線の断線、短絡および薄膜トランジスタの検査を可能にする。【構成】 基板上に、複数の平行な信号線4と、信号線4に電気的に絶縁されて交差する走査線5と、信号線4と走査線5との交差部分において、ソースが信号線4に、ゲートが走査線5にそれぞれ接続されたトランジスタ6が形成されており、信号線4の末端と電源線15との間に容量素子14が挿入接続されている。この容量素子14を一定時間充電した後、信号線4を介してその電位または電流を測定することによって、信号線4の断線、短絡または表示部のトランジスタ6の故障を検査する。
請求項（抜粋）：
複数の平行な信号線、前記信号線に電気的に絶縁されて交差する走査線、ならびに、前記信号線と走査線との交差部分において、ソースが信号線に、ゲートが走査線にそれぞれ接続されたトランジスタが基板上に形成されており、前記各信号線の末端と共通線との間に容量素子が挿入接続された薄膜トランジスタアレイ。
IPC (6件)：
G02F 1/136 500
, G01R 31/00
, G01R 31/26
, G01R 31/28
, H01L 21/66
, H01L 29/786
G01R 31/28 V
, H01L 29/78 311 A
