特許
J-GLOBAL ID：200903039720970200
ガスレーザ装置
出願人/特許権者：
ファナック株式会社
ファナック株式会社 について
代理人 (5件)： 青木 篤 , 鶴田 準一 , 島田 哲郎 , 廣瀬 繁樹 , 西山 雅也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-163122
公開番号（公開出願番号）：特開2006-339455
出願日： 2005年06月02日
公開日（公表日）： 2006年12月14日
要約：
【課題】 ガスレーザ装置において、レーザビームの作用対象物体の属性や作用精度の変更に伴い、媒質ガスの組成を調整してレーザビームの特性を最適化できるようにする。【解決手段】 ガスレーザ装置10は、媒質ガスMが圧力下で流動する媒質回路12を有するレーザ発振部14と、媒質回路12を流動する媒質ガスMの組成を調整するガス組成調整部16とを備える。ガス組成調整部16は、媒質回路12に、組成の異なる複数種類の媒質ガスM1、M2を、それぞれの流量を調整可能に供給する給気部18と、媒質回路12から媒質ガスMを排出する排気部20と、レーザ発振部14で発振されるレーザビームの作用対象物体の属性及び作用精度の、少なくとも一方を含む発振条件Cに従い、給気部18及び排気部20を制御して、媒質回路12を流動する媒質ガスMの組成を調整する制御部22とを備える。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
媒質ガスが圧力下で流動する媒質回路を有するレーザ発振部と、該レーザ発振部の該媒質回路を流動する媒質ガスの組成を調整するガス組成調整部とを具備するガスレーザ装置において、
前記ガス組成調整部は、
前記レーザ発振部の前記媒質回路に、組成の異なる複数種類の媒質ガスを、それぞれの流量を調整可能に供給する給気部と、
前記レーザ発振部の前記媒質回路から媒質ガスを排出する排気部と、
前記レーザ発振部で発振されるレーザビームの作用対象物体の属性及び作用精度の、少なくとも一方を含む発振条件に従い、前記給気部及び前記排気部を制御して、前記媒質回路を流動する媒質ガスの組成を調整する制御部と、
を具備することを特徴とするガスレーザ装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (6件)：
引用特許：
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