単体るつぼ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：古谷栄男 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-533541
公開番号（公開出願番号）：特表平11-504613
出願日： 1996年05月03日
公開日（公表日）： 1999年04月27日
要約：

【要約】MBEエフージョンセル用の、単体で一体のマイナス抜き勾配のるつぼ40。このるつぼは、容量、均一性、および長期間のフラックス安定性を最大化し、卵形欠陥、消耗現象、およびシャッター関連の短期間のフラックス不安定性を最少化する。

請求項（抜粋）：

単体材料によって構成される剛性の壁構造体を備え、内部空間を画成する所定の構成を有し、前記内部空間は第一の周囲寸法を持ち、前記壁構造体は少なくともひとつのオリフィスを有し、前記オリフィスは第二の周囲寸法を有し、前記第二の周囲寸法は前記第一の周囲寸法より小さいコンテナ。

IPC (4件)：

C30B 23/08 , C23C 14/24 , C23C 16/34 , H01L 21/203

FI (4件)：

C30B 23/08 M , C23C 14/24 A , C23C 16/34 , H01L 21/203 M

引用特許：

審査官引用 (9件)

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