容積型ポンプ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小鍜治明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-158609
公開番号（公開出願番号）：特開平8-028471
出願日： 1994年07月11日
公開日（公表日）： 1996年01月30日
要約：

【要約】【目的】反応性生成物を発生させるプロセスに適用しても十分な耐久性を有する真空ポンプを提供する。【構成】電子制御を用いた非接触同期制御型真空ポンプにおいて、非真円形状の2つのロータの組み合わせからなる粗引きポンプを構成する。

請求項（抜粋）：

ハウジング内に収納された複数個のロータと、これらのロータの回転を支持する軸受と、前記ハウジングに形成された流体の吸入口および吐出口と、前記複数個のロータをそれぞれ独立して回転駆動するモータと、前記モータの回転角および/または回転数を検知する検出手段と、この検出手段からの信号によって前記複数個のモータの回転を同期制御することにより前記ロータおよびハウジングで形成される空間の容積変化を利用して流体の吸入・排気を行う容積型のポンプにおいて、前記複数個のロータの任意の断面は、非真円形状であることを特徴とする容積型ポンプ。

引用特許：

審査官引用 (2件)

真空ポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-335606 出願人：株式会社島津製作所
流体回転装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-260005 出願人：松下電器産業株式会社

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