特許
J-GLOBAL ID：200903039817806707
ペリクル用のハンドリング器具
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
山崎 宏
, 大畠 康
, 大森 忠孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-120331
公開番号（公開出願番号）：特開2007-292995
出願日： 2006年04月25日
公開日（公表日）： 2007年11月08日
要約：
【課題】大型のペリクルの取り扱いを容易にするペリクル用ハンドリング器具を提供する。【解決手段】ペリクル用ハンドリング器具は、把手部16を有するフレーム体12と、該フレーム体12に取り付けられる一対の保持体13とを備える。保持体13は、矩形状のペリクルの対向する2辺の外側面に形成した溝33に係合する保持爪24と、ペリクルの他の1辺の外側面に当接する受け部材27とを有する。好ましくは、フレーム体12を、一対の保持体13の間隔を拡縮可能とするように伸縮自在に構成する。また、保持爪13を、溝33を形成したペリクルの外側面に対して接近離反移動可能に設ける。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
把手部を有するフレーム体と、該フレーム体に取り付けられ且つ矩形状のペリクルを保持する一対の保持体とを備え、
該保持体が、前記ペリクルの対向する2辺の外側面に形成された溝に係合する保持爪と、前記ペリクルの他の1辺の外側面に当接する受け部材とを有していることを特徴とする、ペリクル用のハンドリング器具。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (3件)：
2H095BC30
, 2H095BC39
, 2H095BE11
