特許
J-GLOBAL ID：200903069828556520
FPDマスク用ペリクル貼付装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
山崎 宏
, 大畠 康
, 大森 忠孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-406943
公開番号（公開出願番号）：特開2005-165170
出願日： 2003年12月05日
公開日（公表日）： 2005年06月23日
要約：
【課題】 マスクステージの交換が不要なペリクル貼付装置を提供することである。【解決手段】 FPD基板を形成するための露光用のマスクにペリクルを貼付するためのペリクル貼付装置であって、マスク加圧板とペリクル加圧板との間にマスクとペリクルとを保持し、押圧手段によってペリクル加圧板を介してペリクルをマスクに押し付けることにより、両加圧板の間でマスクに対するペリクルの貼付を行う、ペリクル貼付装置において、マスクを保持するマスクステージが、マスクの四辺をそれぞれ把持するホルダー部を有しており、該ホルダー部が、マスクの縦方向及び横方向の寸法に対応して、マスクステージの縦方向及び横方向に移動して、マスクの四辺を把持するようになっている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
FPD基板を形成するための露光用のマスクにペリクルを貼付するためのペリクル貼付装置であって、
マスク加圧板とペリクル加圧板との間にマスクとペリクルとを保持し、押圧手段によってペリクル加圧板を介してペリクルをマスクに押し付けることにより、両加圧板の間でマスクに対するペリクルの貼付を行う、ペリクル貼付装置において、
マスクを保持するマスクステージが、マスクの四辺をそれぞれ把持するホルダー部を有しており、該ホルダー部が、マスクの縦方向及び横方向の寸法に対応して、マスクステージの縦方向及び横方向に移動して、マスクの四辺を把持するようになっていることを特徴とするFPDマスク用ペリクル貼付装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F1/14 J
, H01L21/30 502P
出願人引用 (1件)
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ペリクル貼付装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平8-261149
出願人：株式会社ニコン
審査官引用 (13件)
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特開昭62-038468
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特開昭63-212938
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特開昭64-080036
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