光励起電子線源および電子線応用装置

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-326435
公開番号（公開出願番号）：特開2001-143648
出願日： 1999年11月17日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
要約：

【要約】【課題】光励起電子源において、対物レンズを真空中に入れることにより光の焦点サイズや振動などの問題を解決し、高性能の電子ビームを得る。【解決手段】対物レンズを真空中に入れホトカソード近傍におくことで、ホトカソードへの収束光を十分小さく絞り、かつ振動やドリフトの問題のない高性能の電子源を得る。

請求項（抜粋）：

真空中にあって光入射により電子を放出する手段であるホトカソードと、入射する励起光の光源装置と、発生する電子を引き出す引出し電極よりなる光励起電子線源において、光源とホトカソードの間には少なくとも1枚の光学レンズもしくは鏡で構成される前記励起光の収束手段もしくは結像手段があり、同手段を構成する前記レンズもしくは鏡のうちの少なくとも一つが前記ホトカソードと同一の真空層中にあることを特徴とする光励起電子線源。

IPC (4件)：

H01J 37/073 , H01J 1/34 , H01J 37/06 , H01S 5/02

FI (4件)：

H01J 37/073 , H01J 1/34 C , H01J 37/06 A , H01S 5/02

Fターム (14件)：

5C030BB02 , 5C030BC06 , 5C030CC01 , 5C030CC02 , 5C030CC07 , 5C035CC01 , 5C035CC04 , 5C035CC07 , 5F073AB21 , 5F073AB25 , 5F073AB27 , 5F073AB28 , 5F073AB29 , 5F073BA09

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平2-213037
特開平3-176953
光電子発生方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-025898 出願人：住友重機械工業株式会社

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