特許

J-GLOBAL ID：200903039913661736

集積回路の故障解析装置

発明者： 久慈 憲夫
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-299377
公開番号（公開出願番号）：特開平8-160108
出願日： 1994年12月02日
公開日（公表日）： 1996年06月21日
要約：

【要約】【目的】 電子ビームテスタやFIB装置において、常に下層配線に対するビーム位置決めおよび構造解析を可能にする。【構成】 被診断用集積回路デバイス3と同一品種の集積回路デバイス13を参照用として搭載する試料ステージ12を有する光学顕微鏡11と、この光学顕微鏡11による参照用集積回路デバイス13の光学像10bと電子ビームテスタ1による被診断用集積回路デバイス3の二次電子像10aとを同一画面上に表示させるディスプレイ10と、光学像10bおよび二次電子像10aの両画像の対応する個所を検出することにより両試料ステージ2,12を位置合わせするステージインターフェース22,23と、両試料ステージ22,23の一方の移動に対して他方が追従して動くステージ位置補正部24とを設けた。

請求項（抜粋）：

第1の試料ステージ上に搭載された集積回路デバイス表面の任意の領域を荷電ビームにより二次元走査し、このときに発生する二次電子を検出して二次元の二次電子像として画面表示させる荷電ビーム試験装置と、前記集積回路デバイスと同一品種の集積回路デバイスを参照用として搭載する第2の試料ステージを有する光学顕微鏡装置と、前記光学顕微鏡装置の光学像と前記二次電子像とを同一画面上に表示する表示手段と、前記光学像および前記二次電子像の対応する個所を検出することにより前記両試料ステージを位置合わせする位置合わせ手段と、前記両試料ステージの一方の移動に対して他方が追従して動くステージ制御手段と、を設けたことを特徴とする集積回路の故障解析装置。

IPC (2件)：

G01R 31/302 ,  H01L 21/66

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭63-094548
  
• 裏面解析観察装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-068216   出願人：三菱電機株式会社
• 形態観察装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-130966   出願人：株式会社トプコン