液体供給装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：振角正一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-087531
公開番号（公開出願番号）：特開2003-286958
出願日： 2002年03月27日
公開日（公表日）： 2003年10月10日
要約：

【要約】【課題】ノズルからの液体の吐出・停止を応答性よく、しかも吐出量を正確に設定または制御することが可能な液体供給装置を提供する。【解決手段】ノズル40にマイクロポンプ50が組み込まれている。このマイクロポンプ50ではチューブ41の先端部に中空円筒形の弾性部材51が接続されており、チューブ41を介して流れてくる有機EL材料などの液体を中空部分を流路511としてガラス基板Sに向けて流通可能となっている。この弾性部材51の外周面に沿って圧電素子54が4個、流路511とほぼ平行に配列されている。そして、各圧電素子54は駆動制御部から印加される電圧に応じて機械的に変位して流路511とほぼ直交する方向から弾性部材51に対して等方的に変形を加えて弾性部材51の表面にガラス基板Sに向かう進行波を形成して吐出孔531から液体Lをガラス基板Sに向けて吐出可能となっている。

請求項（抜粋）：

ノズルから基板に向けて液体を吐出しつつ該ノズルを前記基板に対して相対的に移動させることで前記基板上に液体をストライプ状に供給する液体供給装置において、前記ノズルに組み込まれて前記ノズル中の液体を圧送するマイクロポンプと、前記マイクロポンプを駆動制御する駆動制御部とを備えたことを特徴とする液体供給装置。

IPC (6件)：

F04B 43/12 , B05C 5/00 101 , B05C 11/10 , B41J 2/175 , H05B 33/10 , H05B 33/14

FI (7件)：

F04B 43/12 C , F04B 43/12 T , B05C 5/00 101 , B05C 11/10 , H05B 33/10 , H05B 33/14 A , B41J 3/04 102 Z

Fターム (38件)：

2C056EA17 , 2C056FA04 , 2C056FA15 , 2C056FB01 , 2C056FD20 , 3H077AA01 , 3H077BB10 , 3H077CC04 , 3H077CC08 , 3H077CC10 , 3H077DD06 , 3H077EE16 , 3H077EE40 , 3H077FF07 , 3H077FF34 , 3H077FF36 , 3K007AB18 , 3K007DB03 , 3K007FA01 , 4F041AA02 , 4F041AA05 , 4F041AB02 , 4F041BA10 , 4F041BA17 , 4F041BA22 , 4F041BA36 , 4F041BA60 , 4F042AA02 , 4F042AA07 , 4F042AA10 , 4F042BA01 , 4F042BA12 , 4F042BA21 , 4F042CB02 , 4F042CB07 , 4F042CB11 , 4F042CC03 , 4F042CC08

引用特許：

審査官引用 (5件)

有機EL表示装置の製造方法およびその製造装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-260320 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
インクジェットヘッド
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-031841 出願人：ミノルタ株式会社
ポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-166564 出願人：株式会社日立製作所

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