可変変形照明フィルタ及び半導体露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-155544
公開番号（公開出願番号）：特開平11-003849
出願日： 1997年06月12日
公開日（公表日）： 1999年01月06日
要約：

【要約】【課題】任意の区域で、任意の光強度分布からなる光源分布を形成できる可変変形照明フィルタならびに、この可変変形照明フィルタを用いた半導体露光装置を提供する。【解決手段】可変変形照明フィルタ2は、基板2B上に二次元方向に配列された複数枚の鏡面2aから成り、各鏡面2aは夫々独立しており、その傾斜角度は外部から与えられる駆動信号11aにより可変に構成され、各鏡面2aの傾斜角度により光強度分布を可変とする。

請求項（抜粋）：

半導体製造の露光工程で適用される変形照明法に用いられる変形照明フィルタであって、光反射面を備え、かつ該光反射面の任意の位置が、ある特定方向に対して任意の反射強度を備える構成としたことを特徴とする変形照明フィルタ。

IPC (6件)：

H01L 21/027 , G02B 5/10 , G02B 7/198 , G02B 7/185 , G02B 26/08 , G03F 7/20 521

FI (6件)：

H01L 21/30 527 , G02B 5/10 B , G02B 26/08 E , G03F 7/20 521 , G02B 7/18 B , G02B 7/18 701

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平3-226708
特開平3-226708
露光光投射装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-078400 出願人：日本電気株式会社

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