有機無機ハイブリッド材料とナノインプリント技術を用いた微細構造体の製造方法および微細構造体

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：竹内陽一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-362858
公開番号（公開出願番号）：特開2006-168147
出願日： 2004年12月15日
公開日（公表日）： 2006年06月29日
要約：

【課題】入射した光を効率よく通過させ得る微細凹凸部を有する微細構造体をエッチングプロセスではなく、ナノインプリント技術を使用して、経済的に製造する方法を提供する。【解決手段】ナノインプリント技術を用いて、透明基板上にアルミニウム、ゲルマニウム、またはチタン等の金属酸化物および/またはアルコキシドを添加することにより屈折率を制御した有機無機ハイブリッド材料を塗布するステップと、前記有機無機ハイブリッド材料を塗布した基板をプリベイクするステップと、塗布された前記有機無機ハイブリッド材料に微細な凹凸部を有する金型を減圧状態の中で、圧着し、加熱するステップと、前記金型を前記有機無機ハイブリッド材料から離型するステップとにより、微細構造体を製造する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ナノインプリント技術を用いた製造方法であって、透明基板上にアルミニウム、ゲルマニウム、またはチタン等の金属酸化物および/またはアルコキシドを添加することにより屈折率を制御した有機無機ハイブリッド材料を塗布するステップと、前記有機無機ハイブリッド材料を塗布した基板をプリベイクするステップと、塗布された前記有機無機ハイブリッド材料に微細な凹凸部を有する金型を減圧状態の中で、圧着し、加熱するステップと、前記金型を前記有機無機ハイブリッド材料から離型するステップと,を含むことを特徴とする透明基板上に微細凹凸部を有する構造体(以下「微細構造体」という。)の製造方法。

IPC (5件)：

B29C 59/02 , B81B 1/00 , B81C 5/00 , F21V 3/04 , H01L 21/027

FI (5件)：

B29C59/02 Z , B81B1/00 , B81C5/00 , F21V3/04 Z , H01L21/30 502D

Fターム (33件)：

4F209AA36 , 4F209AB16 , 4F209AB19 , 4F209AC05 , 4F209AD08 , 4F209AD33 , 4F209AF01 , 4F209AG03 , 4F209AG05 , 4F209AH33 , 4F209AH73 , 4F209AH81 , 4F209PA02 , 4F209PB01 , 4F209PC01 , 4F209PC05 , 4F209PC06 , 4F209PC07 , 4F209PH02 , 4F209PH27 , 4F209PN09 , 4F209PQ11 , 4G059AA01 , 4G059AB09 , 4G059AB11 , 4G059AC01 , 4G059AC04 , 4G059AC09 , 4G059FA01 , 4G059FA05 , 4G059FA22 , 4G059FB03 , 5F046AA28

引用特許：

審査官引用 (4件)

基板上に微細な凹凸パターンを形成する方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-265750 出願人：日本板硝子株式会社
ナノプリント装置、及び微細構造転写方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-078072 出願人：株式会社日立製作所, 株式会社日立インダストリイズ
SOGを用いた室温ナノ-インプリント-リソグラフィー
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-293718 出願人：科学技術振興事業団

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