スリットコート式塗布装置とスリットコート式塗布方法及び該方法による塗布基板

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大塚康徳 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-171803
公開番号（公開出願番号）：特開2000-005682
出願日： 1998年06月18日
公開日（公表日）： 2000年01月11日
要約：

【要約】【課題】スリットコート式塗布装置における塗布開始時と塗布終了時の不安定領域を短くするための調整作業を、誰でも簡単にできるようにでき、特に塗布開始前の準備段階における調整時間を大幅に短縮する。【解決手段】スリットコート式塗布装置の供給手段の流路途中に塗布ヘッド1近傍の圧力変化を圧力センサー5で検出しかつ圧電変換することで、塗布開始時の供給開始状態及び塗布終了時の供給停止状態をモニター20で目視観測可能にする。

請求項（抜粋）：

塗布対象である平面の基板の塗布有効面上に塗布流体を所定厚さで流出するために、スリット状の開口部を有する塗布ヘッドから前記塗布流体を塗布開始時の所定タイミングで供給するとともに塗布終了時の所定タイミングで前記供給を停止する供給手段と、前記基板を前記塗布ヘッドに対して相対移動する相対移動手段とを備えたスリットコート式塗布装置であって、前記供給手段の流路途中において、前記塗布ヘッド近傍の圧力変化を検出しかつ圧電変換することで、前記塗布開始時の供給開始状態及び前記塗布終了時の供給停止状態を目視または数値データで観測する観測手段と、前記流路途中に配設され、前記塗布開始時及び前記塗布終了時の各所定タイミングで所定駆動されるとともに、前記観測結果に応じて塗布流体の供給のための複数のパラメータを調整することで、前記観測結果を略台形の立ち上がり及び立ち下がり波形に調整する供給制御手段とを具備し、前記供給開始状態及び前記供給停止状態における不安定領域を狭くして、前記基板の塗布有効面を広くする調整作業を確実容易にすることを特徴とするスリットコート式塗布装置。

IPC (3件)：

B05C 5/02 , B05D 1/30 , B05D 3/00

FI (3件)：

B05C 5/02 , B05D 1/30 , B05D 3/00 F

Fターム (16件)：

4D075AC02 , 4D075AC84 , 4D075AC94 , 4D075AC95 , 4D075AC96 , 4D075CA47 , 4D075CA48 , 4D075DA06 , 4D075DA08 , 4D075DC22 , 4D075DC24 , 4D075EA45 , 4F041AA05 , 4F041AB01 , 4F041BA34 , 4F041BA57

引用特許：

出願人引用 (5件)

流体塗布装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-154410 出願人：平田機工株式会社, シプレイ・ファーイースト株式会社
枚葉塗工装置およびその方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-344203 出願人：東レ株式会社
塗布装置および塗布方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-066531 出願人：東レ株式会社

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審査官引用 (5件)

流体塗布装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-154410 出願人：平田機工株式会社, シプレイ・ファーイースト株式会社
枚葉塗工装置およびその方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-344203 出願人：東レ株式会社
塗布装置および塗布方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-066531 出願人：東レ株式会社

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