酸化亜鉛系透明導電膜及びそれを用いた液晶ディスプレイ並びに酸化亜鉛系スパッタリングターゲット

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-160287
公開番号（公開出願番号）：特開2007-329051
出願日： 2006年06月08日
公開日（公表日）： 2007年12月20日
要約：

【課題】低抵抗率で、かつ、耐熱・耐湿性に優れ、耐薬品性が良好な酸化亜鉛を母材とする透明導電膜を提供する。【解決手段】アルミニウム添加酸化亜鉛(ZAO)にインジウムを添加した透明導電膜で、アルミニウムの含有量をAl/(Zn+Al+In+Ga)の原子比で2%を超え6%未満、インジウムの含有量をIn/(Zn+Al+In+Ga)の原子比で0.1%を超え1.0%未満、かつガリウムの含有量をGa/(Zn+Al+In+Ga)の原子比で0.1%を超え1.0%未満とすることにより、低抵抗率で、かつ、耐熱・耐湿性に優れ、耐薬品性が良好な透明導電膜を得ることができる。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

亜鉛、アルミニウム、インジウム、ガリウムおよび酸素からなり、アルミニウムがAl/(Zn+Al+In+Ga)の原子比で2%を超え6%未満の割合で含有され、インジウムがIn/(Zn+Al+In+Ga)の原子比で0.1%を超え1.0%未満の割合で含有され、かつガリウムがGa/(Zn+Al+In+Ga)の原子比で0.1%を超え1.0%未満の割合で含有されていることを特徴とする透明導電膜。

IPC (5件)：

H01B 5/14 , C23C 14/08 , C23C 14/34 , H01L 21/28 , H01L 21/285

FI (5件)：

H01B5/14 A , C23C14/08 K , C23C14/34 A , H01L21/28 301R , H01L21/285 S

Fターム (18件)：

4K029AA09 , 4K029AA24 , 4K029BA50 , 4K029BC09 , 4K029CA05 , 4K029DC05 , 4K029DC09 , 4K029DC34 , 4K029DC39 , 4M104BB36 , 4M104BB38 , 4M104DD37 , 4M104DD40 , 4M104HH16 , 5G307FA01 , 5G307FB01 , 5G307FC04 , 5G307FC06

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開昭62-157618号公報
特開平02-149459号公報
ZnO系焼結体およびその製法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-038706 出願人：住友金属鉱山株式会社

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審査官引用 (3件)

透明導電膜とその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-097897 出願人：旭硝子株式会社
ZnO系焼結体およびその製法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-038706 出願人：住友金属鉱山株式会社
透明導電膜及び電界放出形表示素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-073984 出願人：双葉電子工業株式会社

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