透明導電膜とその製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-097897
公開番号（公開出願番号）：特開平11-297640
出願日： 1998年04月09日
公開日（公表日）： 1999年10月29日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】生産性および耐熱性に優れたZnOを主成分とする透明導電膜とその製造方法の提供。【解決手段】ZnOを主成分とし、InとIn以外の長周期型周期表の3族元素とが含有され、Znと3族元素との総和に対して、Inが0.5〜5at%、かつIn以外の3族元素が0.5〜15at%の割合で含有されることを特徴とする透明導電膜とその製造方法。また、In以外の3族元素は、Ga、AlおよびBからなる群から選ばれる1種以上の元素である。

請求項（抜粋）：

ZnOを主成分とし、InとIn以外の長周期型周期表の3族元素とが含有され、Znと前記3族元素との総和に対して、Inが0.5〜5at%、かつIn以外の3族元素が0.5〜15at%の割合で含有されることを特徴とする透明導電膜。

IPC (7件)：

H01L 21/28 301 , C23C 14/08 , H01L 21/3205 , H01R 13/03 , H01R 23/02 , H05K 9/00 , H01L 21/203

FI (7件)：

H01L 21/28 301 Z , C23C 14/08 D , H01R 13/03 Z , H01R 23/02 E , H05K 9/00 V , H01L 21/203 S , H01L 21/88 M

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭62-157618
特開平2-149459
ZnO系焼結体
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-062778 出願人：住友金属鉱山株式会社

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