特許

J-GLOBAL ID：200903040176036165

基板搬送装置

発明者： 藤井 健二 ,  嶋治 克己 ,  小笠原 光雄 ,  松下 佳彦
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 小谷 悦司 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-282908
公開番号（公開出願番号）：特開平9-124147
出願日： 1995年10月31日
公開日（公表日）： 1997年05月13日
要約：

【要約】【課題】 基板搬送装置における搬送ローラ部の構造を簡素化し、パーティクルの発生を抑えて基板表面の汚染を防止する。【解決手段】 搬送方向に並設された複数のローラ12乃至21を有する搬送ローラ部2と、搬送ローラ部2に対して進退し、ローラ12乃至21との間で基板Bの受渡しを行なう基板受渡し部3とから構成されている。基板受渡し部3は、アーム41先端側に少なくとも載置する基板Bの幅以下の幅寸法と所定の厚みを有する平板状の基板載置台41aを備えている。搬送ローラ部2は、第1の半径寸法を有する回転軸6乃至10を有しており、ローラ12乃至21は、回転軸6乃至10の両側に、基板載置台41aの幅寸法だけ離間して取り付けられ、回転軸の半径寸法に比して、基板載置台41aの厚みを加えた半径寸法を有している。

請求項（抜粋）：

搬送方向に並設された複数のローラを有する搬送ローラ部と、この搬送ローラ部に対して進退し、上記ローラとの間で基板の受渡しを行なう基板受渡し部とを有する基板搬送装置において、上記基板受渡し部は、少なくとも載置する基板の幅以下の幅寸法と所定の厚みを有する平板状の基板載置台を備え、上記搬送ローラ部は、第1の半径寸法を有する回転軸を有し、かつ、上記ローラは上記回転軸の両側に、少なくとも上記基板載置台の幅寸法だけ離間して取り付けられると共に、上記第1の半径寸法に比して、少なくとも上記所定の厚みを加えた第2の半径寸法を有するものであることを特徴とする基板搬送装置。

IPC (3件)：

B65G 47/90 ,  B65G 49/06 ,  B65G 49/07

FI (5件)：

B65G 47/90 A ,  B65G 49/06 A ,  B65G 49/07 B ,  B65G 49/07 D ,  B65G 49/07 G

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-218487   出願人：株式会社東芝, 株式会社芝浦製作所
• 半導体ウェハカセットの基準位置決定方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-307311   出願人：大日本スクリーン製造株式会社