特許
J-GLOBAL ID：200903040197430459

感光性樹脂組成物

発明者：
金田 隆行

金田 隆行 について


出願人/特許権者：
旭化成株式会社

旭化成株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-055294
公開番号（公開出願番号）：特開2002-258485
出願日： 2001年02月28日
公開日（公表日）： 2002年09月11日
要約：
【要約】【課題】 現像時のパターン形成において基板との優れた接着性が得られ、耐熱性樹脂の良好な微細パターンを得る。【解決手段】 (A)アリールアミノ基もしくは、ピリジル基を分子構造に有するアルコキシシラン化合物、(B)フェノール性水酸基もしくはカルボキシル基を分子構造に有する耐熱性樹脂、またはそれらの前駆体、(C)光重合開始剤、及びキノンジアジド化合物からなる群から選択される光活性成分、及び(D)希釈溶剤を含有する感光性樹脂組成物を製造する。
請求項（抜粋）：
(A)アリールアミノ基もしくは、ピリジル基を分子構造に有するアルコキシシラン化合物、(B)フェノール性水酸基もしくはカルボキシル基を分子構造に有する耐熱性樹脂、またはそれらの前駆体、(C)光重合開始剤とキノンジアジド化合物からなる群から選択される光活性成分、及び(D)希釈溶剤を含有する感光性樹脂組成物。
IPC (10件)：
G03F 7/075 501 ,  C08K 5/28 ,  C08K 5/544 ,  C08K 5/548 ,  C08L101/06 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/037 ,  G03F 7/038 501 ,  H01L 21/027
FI (10件)：
G03F 7/075 501 ,  C08K 5/28 ,  C08K 5/544 ,  C08K 5/548 ,  C08L101/06 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/037 ,  G03F 7/038 501 ,  H01L 21/30 502 R
Fターム (38件)：
2H025AA10 ,  2H025AA13 ,  2H025AA14 ,  2H025AA20 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC70 ,  2H025BE01 ,  2H025CA01 ,  2H025CB25 ,  2H025CB26 ,  2H025CC03 ,  2H025CC06 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  4J002CL071 ,  4J002CM041 ,  4J002EE037 ,  4J002EE047 ,  4J002EE057 ,  4J002EH127 ,  4J002EQ037 ,  4J002ES017 ,  4J002EV307 ,  4J002EX076 ,  4J002EX086 ,  4J002FD030 ,  4J002FD147 ,  4J002FD150 ,  4J002FD206 ,  4J002GH00 ,  4J002GJ01 ,  4J002GP03 ,  4J002GQ01 ,  4J002HA05
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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