特許
J-GLOBAL ID：200903040199016269

両面研磨機

発明者：
ウルリッヒ イジング

ウルリッヒ イジング について


出願人/特許権者：
ピーター ウォルターズ サーファス テクノロジーズ ゲーエムベーハー ウント コー. カーゲー

ピーター ウォルターズ サーファス テクノロジーズ ゲーエムベーハー ウント コー. カーゲー について


代理人 (1件)： 渡辺 三彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-083844
公開番号（公開出願番号）：特開2006-055984
出願日： 2005年03月23日
公開日（公表日）： 2006年03月02日
要約：
【課題】研磨面の半径全体にわたって常にほぼ均一な研磨間隙が実現される両面研磨機を提供する。【解決手段】本両面研磨機は、研磨板16及び保持板14をそれぞれ具備してなる上側定盤10と下側定盤12が同軸廻りに相対的に回転駆動されるとともに、各定盤の間に平坦な被加工物の両面を加工するための研磨間隙が設けられてなる両面研磨機において、温度流体を流体通路54を介して上側定盤10内へ運ぶ少なくとも上側定盤用の温度制御手段と、各定盤に組み合わされ研磨間隙の半径方向に離間した少なくとも2点において研磨間隙の間隙幅を測定する間隔測定装置40と、を更に備えたものである。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
研磨板及び保持板をそれぞれ具備してなる上側定盤と下側定盤が同軸廻りに相対的に回転駆動されるとともに、前記各定盤の間に平坦な被加工物の両面を加工するための研磨間隙が設けられてなる両面研磨機において、 温度流体を流体通路を介して前記上側定盤内へ運ぶ少なくとも前記上側定盤用の温度制御手段と、前記各定盤に組み合わされ前記研磨間隙の半径方向に離間した少なくとも2点において前記研磨間隙の間隙幅を測定する間隔測定装置と、を更に備えたことを特徴とする両面研磨機。
IPC (3件)：
B24B 37/04 ,  B24B 37/00 ,  H01L 21/304
FI (3件)：
B24B37/04 D ,  B24B37/00 J ,  H01L21/304 622R
Fターム (14件)：
3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058AA13 ,  3C058AC02 ,  3C058BA01 ,  3C058BA07 ,  3C058BA13 ,  3C058BB02 ,  3C058BB06 ,  3C058BB09 ,  3C058BC02 ,  3C058CB01 ,  3C058CB03 ,  3C058DA17
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 両面研磨機
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-040564   出願人：浜井産業株式会社
審査官引用 (4件)
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