太陽電池成膜装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-062959
公開番号（公開出願番号）：特開2000-261015
出願日： 1999年03月10日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：

【要約】【課題】ロールツーロール方式やステッピングロール方式などの薄膜太陽電池の成膜装置において、成膜面および成膜室の汚染に起因する薄膜の特性劣化の問題を解消した成膜装置を提供する。【解決手段】真空成膜法によりフィルム上に薄膜太陽電池を構成する光電変換部を形成する成膜室を有する太陽電池成膜装置において、成膜室の前後に、中間室を具備させる。

請求項（抜粋）：

真空成膜法によりフィルム上に薄膜太陽電池を構成する光電変換部を形成する成膜室を有する太陽電池成膜装置において、前記装置が、巻き出しロールから供給されるフィルム上に成膜を施し、成膜されたフィルムを巻き取りロールで巻き取るロールツーロール方式またはステッピングロール方式であり、成膜室の前後に、中間室を具備することを特徴とする太陽電池成膜装置。

IPC (2件)：

H01L 31/04 , H01L 21/205

FI (2件)：

H01L 31/04 T , H01L 21/205

Fターム (17件)：

5F045AA08 , 5F045AF07 , 5F045BB07 , 5F045BB14 , 5F045BB17 , 5F045CA13 , 5F045DA52 , 5F045DP22 , 5F045DQ15 , 5F045EB08 , 5F045EB09 , 5F045EK20 , 5F051CA15 , 5F051CA22 , 5F051CA35 , 5F051CA36 , 5F051CA40

引用特許：

審査官引用 (12件)

薄膜光電変換素子の製造装置および製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-124148 出願人：富士電機株式会社
コーナーパネルの取付構造
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-159060 出願人：小野田エー・エル・シー株式会社
特開昭59-084584

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