特許

J-GLOBAL ID：200903040279349170

電子線検出装置及び電子管

発明者： 久嶋 浩之 ,  須山 本比呂 ,  木村 末則 ,  根木 康晴 ,  河合 克彦 ,  深澤 宏仁
出願人/特許権者： 浜松ホトニクス株式会社
代理人 (3件)： 北澤 一浩 ,  小泉 伸 ,  市川 朗子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-318301
公開番号（公開出願番号）：特開2005-085681
出願日： 2003年09月10日
公開日（公表日）： 2005年03月31日
要約：

【課題】 応答速度の劣化を防止し雑音を低減して、応答性よく高感度に電子を検出すること可能な電子線検出装置及び電子管を提供すること。【解決手段】 絶縁性筒9は一端と他端を有する。絶縁性筒9の一端の外側にAPD15が設けられている。絶縁性筒9の他端はステム内壁61を介して外部フランジ120と気密に接続されている。絶縁性筒9の内部には、APD15と電気的に接続したコンデンサC1、C2が設けられている。コンデンサC1、C2は、APD15が電子を検出して発生する信号から直流成分を除去する。絶縁性筒9の内部にコンデンサC1、C2を配置したので、出力信号の応答性を損なうことが防止されている。【選択図】図16

請求項（抜粋）：

一端と他端とを有する絶縁性の筒と、 前記筒の一端の外側に設けられ、入射した電子に応じた電気信号を出力する電子打ち込み型半導体素子と、 前記筒の内部に前記半導体素子と接続して設けられ、前記電気信号を出力信号に変換する処理部と、 を有し、 前記半導体素子への電子の入射を、前記筒の他端側において、前記処理部を介して変換された出力信号により検出することを特徴とする電子線検出装置。

IPC (9件)：

H01J43/16 ,  G01J1/02 ,  G01J1/42 ,  G01T1/24 ,  G01T1/28 ,  H01J1/35 ,  H01J37/244 ,  H01J43/12 ,  H01J43/30

FI (10件)：

H01J43/16 ,  G01J1/02 D ,  G01J1/42 G ,  G01J1/42 H ,  G01T1/24 ,  G01T1/28 ,  H01J1/35 C ,  H01J37/244 ,  H01J43/12 ,  H01J43/30

Fターム (17件)：

2G065AA04 ,  2G065AB19 ,  2G065BA09 ,  2G065BA18 ,  2G065BC40 ,  2G088EE30 ,  2G088FF10 ,  2G088FF20 ,  2G088GG21 ,  2G088JJ01 ,  2G088JJ09 ,  2G088JJ31 ,  2G088JJ40 ,  5C033NN01 ,  5C033NP01 ,  5C033NP02 ,  5C033NP08

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 電子管
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-128723   出願人：浜松ホトニクス株式会社
• 電子管
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-111656   出願人：浜松ホトニクス株式会社