静電チャック

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-030604
公開番号（公開出願番号）：特開平9-223729
出願日： 1996年02月19日
公開日（公表日）： 1997年08月26日
要約：

【要約】【課題】双極型の静電チャック10をプラズマ雰囲気で用いた場合のウェハ20の吸着力を均一にする。【解決手段】ウェハ20の載置面11aを有する基体11の内部に対になった二種類の吸着電極を備えた双極型の静電チャックであって、上記二種類の吸着電極間の境界線の長さの合計を基体11の直径の2倍より大きくするとともに、上記二種類の吸着電極を円周方向にほぼ均一に配置する。

請求項（抜粋）：

ウェハの載置面を有する基体の内部に対になった吸着電極を備えた双極型の静電チャックであって、上記対になった吸着電極間の境界線の長さの合計を基体の直径の2倍より大きくするとともに、上記対になった吸着電極を円周方向にほぼ均一に配置したことを特徴とする静電チャック。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , B23Q 3/15 , H02N 13/00

FI (3件)：

H01L 21/68 R , B23Q 3/15 D , H02N 13/00 D

引用特許：

審査官引用 (11件)

静電吸着装置及びプラズマ処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-068842 出願人：富士通株式会社
特開平1-274938
静電吸着装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-006170 出願人：株式会社日立製作所

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