多孔質膜の前駆体組成物及びその調製方法、多孔質膜及びその作製方法、並びに半導体装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：特許業務法人エクシオ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-154846
公開番号（公開出願番号）：特開2007-321092
出願日： 2006年06月02日
公開日（公表日）： 2007年12月13日
要約：

【課題】低誘電率、高機械的強度を有し、疎水性の改良された多孔質膜及びその作製方法、この多孔質膜の前駆体組成物及びその調製方法、並びにこの多孔質膜を利用した半導体装置の提供。【解決手段】式:Si(OR1)4及びRa(Si)(OR2)4-a(式中、R1は1価の有機基を表し、Rは水素原子、フッ素原子又は1価の有機基を表し、R2は1価の有機基を表し、aは1〜3の整数であり、R、R1及びR2は同一であっても異なっていてもよい)で示される化合物から選ばれた化合物と、熱分解性有機化合物と、触媒作用をなす元素と、尿素等とを含む。この前駆体組成物から得られた多孔質膜に対して紫外線照射した後、疎水性化合物を気相反応させる。得られた多孔質膜を用いて半導体装置を得る。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

次の一般式(1): Si(OR1)4 (1) で示される化合物(A)、及び次の一般式(2): Ra(Si)(OR2)4-a (2) で示される化合物(B) (上記式(1)及び(2)中、R1は1価の有機基を表し、Rは水素原子、フッ素原子又は1価の有機基を表し、R2は1価の有機基を表し、aは1〜3の整数であり、R、R1及びR2は同一であっても異なっていてもよい。) から選ばれた少なくとも1種の化合物と、250°C以上で熱分解する熱分解性有機化合物(C)と、電気陰性度が2.5以下である両性元素、イオン半径が1.6Å以上の元素及び原子量が130以上である元素から選ばれた少なくとも1種の元素(D)とを含有し、さらに、90°C〜200°Cの温度範囲内で熱分解し、そしてこの熱分解によりアミン類を発生する化合物であって、この熱分解温度以下では、この化合物の水溶液および/または水とアルコールの混合溶液のpHが6.5〜8の範囲内に入る化合物(E)を含有していることを特徴とする多孔質膜の前駆体組成物。

IPC (4件)：

C08J 9/36 , C08G 77/18 , H01L 21/312 , H01L 21/316

FI (4件)：

C08J9/36 , C08G77/18 , H01L21/312 C , H01L21/316 G

Fターム (98件)：

4F074AA76 , 4F074AA89 , 4F074AA92 , 4F074AC16 , 4F074AC17 , 4F074AC20 , 4F074AC28 , 4F074AC31 , 4F074AC32 , 4F074AD04 , 4F074AD13 , 4F074AD17 , 4F074AF04 , 4F074AG20 , 4F074AH03 , 4F074BC02 , 4F074CD11 , 4F074CD17 , 4F074CE02 , 4F074CE37 , 4F074CE66 , 4F074CE93 , 4F074CE98 , 4F074DA09 , 4F074DA15 , 4F074DA23 , 4F074DA47 , 4J038DF012 , 4J038DJ012 , 4J038DL031 , 4J038DL051 , 4J038DL071 , 4J038HA336 , 4J038JA57 , 4J038JB24 , 4J038JC30 , 4J038JC32 , 4J038KA03 , 4J038KA04 , 4J038KA09 , 4J038MA14 , 4J038NA01 , 4J038PB09 , 4J246AA03 , 4J246BA250 , 4J246BB02X , 4J246BB020 , 4J246BB022 , 4J246CA13U , 4J246CA13X , 4J246CA130 , 4J246CA24X , 4J246CA240 , 4J246CA390 , 4J246CA400 , 4J246CA450 , 4J246CA460 , 4J246FA071 , 4J246FA131 , 4J246FA291 , 4J246FA321 , 4J246FA331 , 4J246FA431 , 4J246FA441 , 4J246FB013 , 4J246FB031 , 4J246FB071 , 4J246FB081 , 4J246FB211 , 4J246FB221 , 4J246FB231 , 4J246FD06 , 4J246FE12 , 4J246GB15 , 4J246GB18 , 4J246GC01 , 4J246GC24 , 4J246GC53 , 4J246GD08 , 4J246GD09 , 4J246HA11 , 4J246HA63 , 5F058AA10 , 5F058AC03 , 5F058AD05 , 5F058AF04 , 5F058AG01 , 5F058AH02 , 5F058BA20 , 5F058BC02 , 5F058BC04 , 5F058BC05 , 5F058BD04 , 5F058BD06 , 5F058BD07 , 5F058BF46 , 5F058BH01 , 5F058BJ02

引用特許：

出願人引用 (6件)

WO-91/11390パンフレット(クレーム等)
多孔質膜形成用組成物、該組成物の製造方法、膜の形成方法および多孔質膜
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-000748 出願人：ジェイエスアール株式会社
米国特許第6,208,014号明細書(クレーム、アブストラクト等)

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