特許

J-GLOBAL ID：200903040399987528

能動型除振装置の支持装置

発明者： 坂田 利文 ,  岡本 修一
出願人/特許権者： 東洋ゴム工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 孝一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-105016
公開番号（公開出願番号）：特開平9-291969
出願日： 1996年04月25日
公開日（公表日）： 1997年11月11日
要約：

【要約】【課題】 系全体の剛性を低下させて除振性能の向上を図りながら、搭載機器の重量が大きい場合でも歪の発生による性能劣化等を招くことなく、所定の除振性能を長期に亘って安定よく維持することができるようにする。【解決手段】 下部架台1とこれに対向する機器搭載台2との間に、ピエゾアクチュエータ5および該ピエゾアクチュエータ5の駆動方向の少なくとも一端面に配設された剪断力吸収部材6からなる支持マウント3と、膨張収縮可能な可撓材製袋状体9内に加圧空気を封入してなる空気ばね4とを併設させている。

請求項（抜粋）：

下部架台とこれに対向する機器搭載台との間に、ピエゾアクチュエータおよび該ピエゾアクチュエータの駆動方向の少なくとも一端面に配設された剪断力吸収部材からなる支持マウントと、膨張収縮可能な可撓材製袋状体内に加圧空気を封入してなる空気ばねとを併設したことを特徴とする能動型除振装置の支持装置。

IPC (3件)：

F16F 15/04 ,  F16F 15/02 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

F16F 15/04 A ,  F16F 15/02 A ,  H01L 21/30 503 F

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 防振装置及びその制御方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-147467   出願人：住友電気工業株式会社
• アクテイブ除振装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-342027   出願人：株式会社竹中工務店, 藤田隆史, 日立プラント建設株式会社, 株式会社日立建設設計, 特許機器株式会社
• アクティブ型除振装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-351502   出願人：日立プラント建設株式会社