特許
J-GLOBAL ID：200903040444501909
圧電デバイス及びアンテナ共用器並びにそれらに用いられる圧電共振器の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小笠原 史朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-317183
公開番号（公開出願番号）：特開2005-160056
出願日： 2004年10月29日
公開日（公表日）： 2005年06月16日
要約：
【課題】 有効結合係数を低下させることなく、同一基板上に異なる共振周波数を持つ複数の圧電共振器を容易に形成することで実現できる圧電デバイスを提供する。【解決手段】 圧電デバイス100は、圧電共振器110及び圧電共振器120を備える。圧電共振器110は、基板101上に、キャビティ111、下部電極112、圧電体層113、及び上部電極114を順に形成した構成である。また、圧電共振器120は、基板101上に、キャビティ121、下部電極122、圧電体層123、及び上部電極124を順に形成した構成である。この構成において、圧電体層113と圧電体層123との膜厚は同じであり、キャビティ111の深さt1とキャビティ121の深さt2とが異なることが特徴となる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
複数の圧電共振器を備えた圧電デバイスであって、
前記複数の圧電共振器は、それぞれ
基板と、
前記基板に形成されたキャビティと、
前記キャビティを覆うように前記基板の上に形成される下部電極と、
前記下部電極の上に形成される圧電体層と、
前記圧電体層の上に形成される上部電極とで構成され、
前記複数の圧電共振器の少なくとも1つは、他の圧電共振器と前記キャビティの深さが異なることを特徴とする、圧電デバイス。
IPC (9件)：
H03H9/58
, H01L41/08
, H01L41/09
, H01L41/187
, H01L41/22
, H03H3/02
, H03H3/04
, H03H9/17
, H03H9/70
H03H9/58 A
, H03H3/02 B
, H03H3/04 B
, H03H9/17 F
, H03H9/70
, H01L41/08 J
, H01L41/22 Z
, H01L41/08 D
, H01L41/18 101B
5J108AA01
, 5J108AA02
, 5J108AA07
, 5J108CC11
, 5J108EE04
, 5J108JJ01
, 5J108KK05
, 5J108KK07
, 5J108MM04
, 5J108NA04
, 5J108NB06
