特許
J-GLOBAL ID：200903040474937850
回折光学素子およびその製造方法および光ピックアップ装置および光ディスクドライブ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
樺山 亨
, 本多 章悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-174281
公開番号（公開出願番号）：特開2004-020813
出願日： 2002年06月14日
公開日（公表日）： 2004年01月22日
要約：
【課題】回折光学素子の製造プロセス中において、有機材料膜の熱収縮による透明基板の反りの問題を有効に解消する。【解決手段】透明基板上に接着固定された有機材料膜に、フォトリソグラフィとエッチングとを含む工程により、断面形状が矩形状の凹凸による回折格子を複数個、格子配列状に形成し、形成された複数の回折格子を個別的に分離する回折光学素子の製造方法において、有機材料膜の熱収縮により生じる透明基板の反りを緩和するべく、透明基板1に予め所定の湾曲形状を与えておき、有機材料膜の熱収縮により湾曲形状を矯正することにより、透明基板1を実質的な平行平板とする。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
透明基板上に有機材料膜を接着固定する有機材料膜接着工程と、
上記透明基板上に接着固定された上記有機材料膜に、フォトリソグラフィとエッチングとを含む工程により、断面形状が矩形状の凹凸による回折格子を複数個、格子配列状に形成する回折格子形成工程と、
格子配列状に形成された複数の回折格子を個別的に分離する分離工程とを有する回折光学素子の製造方法において、
上記有機材料膜の熱収縮により生じる透明基板の反りを緩和するべく、上記透明基板に予め所定の湾曲形状を与えておき、上記有機材料膜の熱収縮により上記湾曲形状を矯正することにより、透明基板を実質的な平行平板とすることを特徴とする回折光学素子の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (16件)：
2H049AA33
, 2H049AA37
, 2H049AA57
, 2H049AA64
, 2H049AA68
, 2H049AA70
, 5D119AA38
, 5D119AA40
, 5D119JA12
, 5D119JA14
, 5D119NA05
, 5D789AA38
, 5D789AA40
, 5D789JA12
, 5D789JA14
, 5D789NA05
