特許

J-GLOBAL ID：200903040496135641

加速度センサ

発明者： 多保田 純 ,  浅野 宏志 ,  水野 利弘
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 岡田 和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-279421
公開番号（公開出願番号）：特開平7-128359
出願日： 1993年11月09日
公開日（公表日）： 1995年05月19日
要約：

【要約】【目的】加熱処理によって検出部を構成した際の圧電素子に対して内部応力が集中することのない加速度センサを提供する。【構成】本発明にかかる加速度センサは、信号処理回路が組み込まれる回路基板1と、加速度作用方向に沿って分極処理されたうえで回路基板1上に固着された圧電素子2と、これら圧電素子2上に固着されたウェイト3とからなる検出部を備えており、ウェイト3は圧電素子2と略同等の熱膨張係数を有する素材を用いて作製されたものであることを特徴としている。そして、この際、圧電素子2及びウェイト3はともに圧電セラミックスを用いて作製されたものであり、ウェイト3は分極処理されていないものであればよい。

請求項（抜粋）：

信号処理回路が組み込まれる回路基板(1)と、加速度作用方向に沿って分極処理されたうえで回路基板(1)上に固着された圧電素子(2)と、これら圧電素子(2)上に固着されたウェイト(3)とからなる検出部を備えた加速度センサであって、ウェイト(3)は圧電素子(2)と略同等の熱膨張係数を有する素材を用いて作製されたものであることを特徴とする加速度センサ。

IPC (2件)：

G01P 15/09 ,  H01L 29/84

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 加速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-094220   出願人：株式会社村田製作所
• 特開昭62-081572
  
• 加速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-221181   出願人：富士通株式会社