特許
J-GLOBAL ID:200903040510627021

音叉型圧電振動ジャイロ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 伊東 忠彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-251759
公開番号(公開出願番号):特開平11-094554
出願日: 1997年09月17日
公開日(公表日): 1999年04月09日
要約:
【要約】【課題】 使用温度範囲で安定した特性を有し、検出精度が高く、製造が容易な音叉型圧電振動ジャイロを提供する。【解決手段】 2つのアーム12、14を有する音叉10と、該音叉のアームベース部15に取付けられた支持基板38とを有し、音叉に駆動側振動を与え、検出側振動は前記音叉と支持基板が一体となって回転振動する音叉型圧電振動ジャイロにおいて、音叉型圧電振動ジャイロの使用温度範囲内で、前記音叉と支持基板とを弾性的に一体構造とする接着層36を前記音叉と支持基板との間に設けたことを特徴とする音叉型圧電振動ジャイロである。
請求項(抜粋):
2つのアームを有する音叉と、該音叉のアームベース部に取付けられた支持基板とを有し、音叉に駆動側振動を与え、検出側振動は前記音叉と支持基板が一体となって回転振動する音叉型圧電振動ジャイロにおいて、音叉型圧電振動ジャイロの使用温度範囲内で、前記音叉と支持基板とを弾性的に一体構造とする接着層を前記音叉と支持基板との間に設けたことを特徴とする音叉型圧電振動ジャイロ。
IPC (2件):
G01C 19/56 ,  G01P 9/04
FI (2件):
G01C 19/56 ,  G01P 9/04
引用特許:
審査官引用 (6件)
  • 音叉形振動ジャイロ及びこれを用いたセンサシステム
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平6-268976   出願人:富士通株式会社
  • 角速度センサ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平7-332983   出願人:松下電器産業株式会社
  • 振動子支持構造
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平6-205403   出願人:赤井電機株式会社
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