テラヘルツアンテナアレー、テラヘルツアンテナアレーシステムおよびテラヘルツアンテナアレーの製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：杉本修司 , 野田雅士 , 堤健郎 , 林田久美子
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-501952
公開番号（公開出願番号）：特表2009-531841
出願日： 2007年03月29日
公開日（公表日）： 2009年09月03日
要約：

【課題】構造が単純化され、製造が容易なテラヘルツアンテナアレーを提供する。【解決手段】複数のテラヘルツアンテナ(29、39、49、49’、49’’)を備え、各テラヘルツアンテナ(29、39、49、49’、49’’)は光導電領域(22、32、42)と、光導電領域(22、32、42)の少なくとも一部にまたがって横方向に延びるスペーサ領域(24、34、44)を介して相互に隔離されて配置される第1電極(21A、21B、31A、31B、41A、41B)および第2電極(21B、31B)とを有する。アレー(20、30、40)の隣接するTHzアンテナ(29、39、49、49’、49’’)間の横方向領域(25、35、45)は光導電性ではなく、特に光導電材料を含まない。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

複数のテラヘルツアンテナ(29、39、49、49’、49’’)を有するテラヘルツアンテナアレー(20、30、40、50)であって、前記テラヘルツアンテナ(29、39、49、49’、49’’)は、光導電領域(22、32、42)、第1電極(21A、31A、41A)、および第2電極(21B、31B、41B)を備え、前記電極は、前記光導電領域(22、32、42)の少なくとも一部分上を水平方向に延びるスペース領域(24、34、44)によって間隔を空けて配置され、隣接するテラヘルツアンテナ(29、39、49、49’、49’’)間の横方向領域(25、35、45)は非光導電性である、テラヘルツアンテナアレー(20、30、40、50)。

IPC (1件)：

H01L 31/026

FI (1件)：

H01L31/08 L

Fターム (9件)：

5F088AA11 , 5F088AB07 , 5F088BA20 , 5F088BB10 , 5F088CB14 , 5F088DA05 , 5F088EA02 , 5F088FA05 , 5F088GA04

引用特許：

審査官引用 (3件)

光半導体装置およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-080780 出願人：キヤノン株式会社
テラヘルツ放射の発生及び検出用の光伝導性基体上の電極
公報種別：公表公報出願番号：特願2004-533641 出願人：テラビューリミテッド
センシング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-154772 出願人：キヤノン株式会社

引用文献：

審査官引用 (2件)

CONFERENCE DIGEST OF THE 2004 JOINT 29TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON INFRARED AND MILLIMETER WAVES A, 20040927, P83-84
CONFERENCE DIGEST OF THE 2004 JOINT 29TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON INFRARED AND MILLIMETER WAVES A, 20040927, P83-84

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