特許
J-GLOBAL ID：200903082376841369

センシング装置

発明者：
尾内 敏彦

尾内 敏彦 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 加藤 一男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-154772
公開番号（公開出願番号）：特開2006-064691
出願日： 2005年05月27日
公開日（公表日）： 2006年03月09日
要約：
【課題】誘電体を用いた分布定数線路に高周波電磁波を伝搬させて、伝送線路近傍で空気中に染み出している電磁界(エバネッセント波など)を用いて検査物体の物性などのセンシングを行うことである。【解決手段】センシング装置は、基板1上に少なくとも高周波伝送線路2を形成して成るチップ20と、高周波伝送線路2に高周波電磁波10を伝搬させるための電磁波発生手段7および結合手段9と、高周波伝送線路2を伝搬する電磁波のうち伝送線路上の任意の場所の伝搬状態を検出するための検出手段5を有する。高周波伝送線路近傍に配置した物体4と伝搬電磁波との相互作用を検出手段5で検出することで、物体4の空間的な電磁波との相互作用状態をセンシングする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板上に少なくとも高周波伝送線路を形成して成るチップと、前記高周波伝送線路に高周波電磁波を伝搬させるための電磁波発生手段および結合手段と、前記高周波伝送線路を伝搬する電磁波のうち伝送線路上の任意の場所の伝搬状態を検出するための検出手段を有し、前記高周波伝送線路近傍に配置した物体と前記伝搬させた電磁波との相互作用を前記検出手段で検出することで、前記物体の空間的な電磁波との相互作用状態をセンシングすることを特徴とするセンシング装置。
IPC (5件)：
G01N 21/35 ,  G01N 13/14 ,  G01N 21/27 ,  G01N 22/00 ,  G01N 22/02
FI (5件)：
G01N21/35 Z ,  G01N13/14 A ,  G01N21/27 C ,  G01N22/00 Z ,  G01N22/02 C
Fターム (20件)：
2G059BB12 ,  2G059DD01 ,  2G059DD12 ,  2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059EE12 ,  2G059FF01 ,  2G059FF11 ,  2G059GG01 ,  2G059GG02 ,  2G059GG03 ,  2G059GG08 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ12 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ17 ,  2G059JJ20 ,  2G059JJ22 ,  2G059JJ30 ,  2G059KK10
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (5件)
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引用文献：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)

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