特許

J-GLOBAL ID：200903040630018754

光ファイバ探針の製造方法

発明者： 穴澤 一則 ,  渡邊 浩之 ,  清水 正昭
出願人/特許権者： 富士ゼロックス株式会社
代理人 (1件)： 渡部 剛 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-121345
公開番号（公開出願番号）：特開平9-304632
出願日： 1996年05月16日
公開日（公表日）： 1997年11月28日
要約：

【要約】【課題】 フォトン走査型トンネル顕微鏡用の光ファイバ探針としての機能を持つプローブを1段階の化学エッチング処理によって簡単に製造する方法を提供する。【解決手段】 コア1とクラッド2からなる光ファイバの端部をエッチングすることにより円錐状に先鋭化する光ファイバ探針の製造方法であって、前記光ファイバの端面4以外の部分を耐エッチング性材料3で被覆した状態で光ファイバの端部を化学エッチングすることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

コアとクラッドからなる光ファイバの端部をエッチングすることにより円錐状に先鋭化する光ファイバ探針の製造方法において、前記光ファイバの端面以外の部分を耐エッチング性材料で被覆した状態で前記光ファイバの端部を化学エッチングすることを特徴とする光ファイバ探針の製造方法。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• ファイバ製プローブ素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-185132   出願人：エイ・ティ・アンド・ティ・コーポレーション
• 多重直径を有するファイバープローブ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-315400   出願人：エイ・ティ・アンド・ティ・コーポレーション
• レンズ付き石英系光ファイバの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-313207   出願人：古河電気工業株式会社
• 光ファイバアレイ装置およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-060455   出願人：沖電気工業株式会社