特許

J-GLOBAL ID：200903040682485091

プローブカード処理方法

発明者： ▲タイ▼ 進發 ,  陳 明儀 ,  廖 怡紋
出願人/特許権者： 茂徳科技股▲ふん▼有限公司 ,  台湾茂▲せき▼電子股▲ふん▼有限公司 ,  シーメンス アクチエンゲゼルシャフト
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-314432
公開番号（公開出願番号）：特開2001-141746
出願日： 1999年11月04日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
要約：

【要約】【課題】 複数のプローブニードルを備えるプローブカードに応用可能なプローブカード処理方法を提供することを目的とする。【解決手段】 プローブカード10を閉鎖された加熱装置内に配置することで熱処理する。この熱処理の温度は、プローブカード10を軟化させることなく複数のプローブニードル12の弾性及び平面性を回復するために充分なものである。次に、各プローブニードル12の弾性が保持されかつ各プローブニードル12の寿命が延びるように、プローブカード10と複数のプローブニードル12が冷却空気により急速に冷却される。

請求項（抜粋）：

複数のプローブニードルを備えるプローブカードに応用可能なプローブカード処理方法において、前記複数のプローブニードルに対し熱処理を施す段階と、前記複数のプローブニードルを急速に冷却する段階と、を備えることを特徴とするプローブカード処理方法。

IPC (3件)：

G01R 1/073 ,  G01R 31/26 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

G01R 1/073 E ,  G01R 31/26 J ,  H01L 21/66 B

Fターム (13件)：

2G003AA10 ,  2G003AG04 ,  2G003AG12 ,  2G011AA01 ,  2G011AA02 ,  2G011AA15 ,  2G011AB08 ,  2G011AC14 ,  2G011AE03 ,  4M106AA01 ,  4M106BA01 ,  4M106DD03 ,  4M106DD10

引用特許：

出願人引用 (3件)

• コンタクトプローブおよびその製造方法と前記コンタクトプローブを備えたプローブ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-259832   出願人：三菱マテリアル株式会社
• 特開平4-333250
  
• プローブ針のレーザクリーニング方法とその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-148307   出願人：ユニークテクノロジーインターナショナルプライベートリミテッド

審査官引用 (4件)

• コンタクトプローブおよびその製造方法と前記コンタクトプローブを備えたプローブ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-259832   出願人：三菱マテリアル株式会社
• 特開平4-333250
  
• 特開平4-333250
  
• プローブ針のレーザクリーニング方法とその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-148307   出願人：ユニークテクノロジーインターナショナルプライベートリミテッド