シリコンウエハの加熱装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：森哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-195430
公開番号（公開出願番号）：特開平9-043117
出願日： 1995年07月31日
公開日（公表日）： 1997年02月14日
要約：

【要約】【課題】吸着物質を気化させて脱着するためにシリコンウエハを加熱し、脱着成分を分析装置に向けて導出する装置において、クリーンルーム内での使用が可能なものを提供する。【手段】このシリコンウエハ加熱装置1は、箱状に形成された断熱容器2と、この断熱容器2の下部に配置されたシリコンウエハ収納容器3と、このシリコンウエハ収納容器3の上方に配置された赤外線ヒータ4とからなる。シリコンウエハ収納容器3の蓋32は石英製であり、赤外線ヒータ4からの赤外線を透過する。シリコンウエハ収納容器3には、内部にキャリヤガスを導入するガス導入管6と、空間31aに溜まった脱着成分を分析装置に向けて導出するガス導出管8と、余分なキャリヤガスを外部に排出するガス排出管7が接続してある。

請求項（抜粋）：

シリコンウエハを所定温度に加熱することにより表面に吸着した物質を気化させて脱着し、脱着物質をキャリヤガスに同伴させて外部に導出するシリコンウエハの加熱装置において、断熱容器と、その内部に配置されたシリコンウエハ収納容器と、当該断熱容器内部で且つ前記シリコンウエハ収納容器の上方に配置された赤外線ヒータとで構成され、前記断熱容器およびシリコンウエハ収納容器は、前記所定温度の加熱によってもガス状物が発生しない材質からなり、前記シリコンウエハ収納容器の上面部材は赤外線を透過する材質からなり、前記シリコンウエハ収納容器の内部寸法はシリコンウエハ収納時に当該容器内上部に空間が生じる大きさとし、前記シリコンウエハ収納容器には、前記キャリヤガスを内部に導入するガス導入管と、当該シリコンウエハ収納容器内の前記空間内の気体を断熱容器外に導出するガス導出管とを接続したことを特徴とするシリコンウエハの加熱装置。

IPC (8件)：

G01N 1/22 , G01N 1/00 101 , G01N 1/28 , G01N 27/62 , G01N 30/04 , G01N 30/88 , H01L 21/324 , H01L 21/66

FI (8件)：

G01N 1/22 T , G01N 1/00 101 Q , G01N 27/62 C , G01N 30/04 A , G01N 30/88 C , H01L 21/324 D , H01L 21/66 L , G01N 1/28 K

引用特許：

審査官引用 (4件)

大気圧昇温ガス脱離装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-229894 出願人：株式会社日立製作所, 日立東京エレクトロニクス株式会社
微量有機化合物分析方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-088105 出願人：ジーエルサイエンス株式会社
特開平4-179251

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