多段増幅型レーザシステム

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：木村高久 , 小幡義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-369736
公開番号（公開出願番号）：特開2006-165484
出願日： 2004年12月21日
公開日（公表日）： 2006年06月22日
要約：

【課題】半導体露光装置の2ステージシステムの紫外ガスレーザにおいて、出力エネルギーを減少させることなくレーザ光の偏光純度を高くすること。【解決手段】レーザ光を出力する発振段レーザと、前段のレーザから出力されたレーザ光を増幅して出力する一以上の増幅段レーザと、少なくとも一つの前記増幅段レーザのレーザ光軸上に設けられ、レーザ光に含まれ互いに直交する二つの直線偏波状態の成分のうちの一方を高反射率で反射し、他方を高透過率で透過する偏光子と、を備えている。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

レーザ光を出力する発振段と、前段から出力されたレーザ光を増幅して出力する一以上の増幅段と、少なくとも一つの前記増幅段のレーザ光軸上又は前記増幅段以降のレーザ光軸上に設けられ、レーザ光に含まれ互いに直交する二つの直線偏波状態の成分のうちの一方を高反射率で反射し、他方を高透過率で透過する偏光子と、を備えた多段増幅型レーザシステム。

IPC (4件)：

H01S 3/034 , G03F 7/20 , H01S 3/23 , H01L 21/027

FI (4件)：

H01S3/03 G , G03F7/20 505 , H01S3/23 , H01L21/30 515B

Fターム (14件)：

2H097CA01 , 2H097CA17 , 2H097LA10 , 5F046CA03 , 5F046DA01 , 5F071AA06 , 5F071AA07 , 5F071DD06 , 5F071FF07 , 5F172AD04 , 5F172AD06 , 5F172DD03 , 5F172NQ48 , 5F172ZZ02

引用特許：

審査官引用 (11件)

レーザ装置及びそれを用いた露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-369239 出願人：ギガフォトン株式会社, ウシオ電機株式会社, 株式会社小松製作所
狭帯域レーザ装置
公報種別：再公表公報出願番号：JP1996000921 出願人：株式会社小松製作所
特開平3-046285

全件表示

前のページに戻る