エネルギー分散型X線マイクロアナライザ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤本英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-087604
公開番号（公開出願番号）：特開平10-260144
出願日： 1997年03月20日
公開日（公表日）： 1998年09月29日
要約：

【要約】【課題】表示画面が小さくても、電子顕微鏡画像およびEDX画像の双方を見やすくしかも簡単な操作で表示することが可能なエネルギー分散型X線マイクロアナライザを提供すること。【解決手段】電子顕微鏡2とエネルギー分散型X線分析装置3とこれらを制御するコンピュータ1とからなり、電子顕微鏡2によって得られる電子顕微鏡画像5とX線分析装置3によって得られるX線スペクトルおよびX線画像6を、コンピュータ1に接続された表示装置4の画面4A上に表示するように構成されたエネルギー分散型X線マイクロアナライザにおいて、前記両画像5,6の表示パターンを予め設定しておき、分析モードに応じた画像表示を行なえるようにした。

請求項（抜粋）：

電子顕微鏡とエネルギー分散型X線分析装置とこれらを制御するコンピュータとからなり、電子顕微鏡によって得られる電子顕微鏡画像とエネルギー分散型X線分析装置によって得られるX線スペクトルおよび画像をそれぞれ処理し、コンピュータに接続された表示装置の画面上に表示するように構成されたエネルギー分散型X線マイクロアナライザにおいて、前記両画像の表示パターンを予め設定しておき、分析モードに応じた画像表示を行なえるようにしたことを特徴とするエネルギー分散型X線マイクロアナライザ。

IPC (3件)：

G01N 23/225 , H01J 37/22 502 , H01J 37/256

FI (3件)：

G01N 23/225 , H01J 37/22 502 C , H01J 37/256

引用特許：

審査官引用 (6件)

走査電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-083963 出願人：株式会社日立製作所
手書き入力方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-152210 出願人：三洋電機株式会社
フアイル管理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-159155 出願人：沖電気工業株式会社

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