特許
J-GLOBAL ID：200903040779185432

液体吐出ヘッド及びその製造方法並びに画像形成装置

発明者：
太田 浩史

太田 浩史 について


出願人/特許権者：
富士写真フイルム株式会社

富士写真フイルム株式会社 について


代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-119823
公開番号（公開出願番号）：特開2006-297657
出願日： 2005年04月18日
公開日（公表日）： 2006年11月02日
要約：
【課題】撓み振動モードの圧電素子の運動を阻害することなく、その上部に設けられたスルーホールを介して圧電素子の電極への確実な配線を形成可能とする。【解決手段】液体を吐出するノズルと連通する圧力室の一部を形成する振動板と、該振動板を変形する圧電素子を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記圧電素子の電極の少なくとも一部に感光性樹脂を形成する工程と、貫通孔を有する基板を前記感光性樹脂に接合する工程と、前記貫通孔を介して前記感光性樹脂を露光現像する工程と、前記貫通孔及び前記感光性樹脂を露光現像することによって形成される孔に導電性材料を充填する工程とを含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法で液体吐出ヘッドを製造し、特に前記圧電素子は撓み振動モードで駆動し、前記圧電素子と前記基板との間に該圧電素子の駆動を妨げないための空間を形成する。【選択図】図7
請求項（抜粋）：
液体を吐出するノズルと連通する圧力室の一部を形成する振動板と、該振動板を変形する圧電素子を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、 前記圧電素子の電極の少なくとも一部に感光性樹脂を形成する工程と、 貫通孔を有する基板を前記感光性樹脂に接合する工程と、 前記貫通孔を介して前記感光性樹脂を露光現像する工程と、 前記貫通孔及び前記感光性樹脂を露光現像することによって形成される孔に導電性材料を充填する工程と、 を含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
IPC (5件)：
B41J 2/16 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/22
FI (4件)：
B41J3/04 103H ,  B41J3/04 103A ,  H01L41/08 J ,  H01L41/22 Z
Fターム (17件)：
2C057AF06 ,  2C057AF34 ,  2C057AF65 ,  2C057AF93 ,  2C057AF99 ,  2C057AG15 ,  2C057AG40 ,  2C057AG59 ,  2C057AG84 ,  2C057AG93 ,  2C057AN05 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP47 ,  2C057AP90 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (2件)

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