圧電駆動型MEMS素子およびその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：吉武賢次 , 橘谷英俊 , 佐藤泰和 , 吉元弘 , 川崎康
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-133736
公開番号（公開出願番号）：特開2005-313276
出願日： 2004年04月28日
公開日（公表日）： 2005年11月10日
要約：

【課題】信頼性が高く安定して作成することを可能にする。【解決手段】凹部2を有する基板1上に凹部を跨ぐように設けられた圧電膜8、圧電膜の両端に設けられ圧電膜を駆動する圧電駆動機構12、および圧電膜の基板側の面の中央部に設けられた第1電極6を有する可動梁11と、基板の凹部の平坦部に設けられ可動梁の第1電極と対向する第2電極3と、を備えたことを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

凹部を有する基板上に前記凹部を跨ぐように設けられた圧電膜、前記圧電膜の両端に設けられ前記圧電膜を駆動する圧電駆動機構、および前記圧電膜の前記基板側の面の中央部に設けられた第1電極を有する可動梁と、前記基板の前記凹部の平坦部に設けられ、前記可動梁の前記第1電極と対向する第2電極と、を備えたことを特徴とする圧電駆動型MEMS素子。

IPC (6件)：

B81B3/00 , H01L41/09 , H01L41/18 , H01L41/187 , H01L41/22 , H03H9/24

FI (7件)：

B81B3/00 , H03H9/24 Z , H01L41/08 C , H01L41/08 L , H01L41/22 Z , H01L41/18 101A , H01L41/18 101D

引用特許：

審査官引用 (5件)

マトリックスリレー
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-238566 出願人：オムロン株式会社
微小機械スイッチ
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-284721 出願人：松下電器産業株式会社
表面マイクロマシンの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-094044 出願人：日産自動車株式会社

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