負イオン源

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：波多野久 , 関口俊三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-180222
公開番号（公開出願番号）：特開2006-004780
出願日： 2004年06月17日
公開日（公表日）： 2006年01月05日
要約：

【課題】加速電子の発生量を抑制して高エネルギの負イオンビームを生成するとともに、このビームに良好な収束性を付与して高エネルギで長距離の輸送が可能な、高い効率と信頼性を有する負イオン源を提供する。【解決手段】本発明に係る負イオン源は、放電プラズマ中に生成された負イオンを放電容器から引き出すための複数の孔16が穿設され、放電容器内で生成された放電プラズマと接する第1の電極15と、第1の電極の複数の孔と対応する位置に同数の孔22が穿設され、第1の電極に対して正電位を印加される第2の電極18と、第2の電極の孔21に対応する位置に同数の孔22が対応して穿設された第3の電極19と、第1ないし第3の電極に穿設された複数の孔に対応するスリット形状の孔25が穿設され、接地電位に保持された第4の電極24とを有する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

放電容器と、放電容器を真空に排気する手段と、放電容器に放電の原料ガスを供給する手段と、前記放電容器内に放電によりプラズマを生成するための手段と、放電プラズマ中に生成された負イオンを放電容器から引き出すための複数の孔が穿設され、放電容器内で生成されたプラズマと接する第1の電極と、第1の電極に穿設された複数の孔と対応する位置に同数の孔が穿設され、第1の電極に対して正電位を印加される第2の電極と、第2の電極に穿設された孔に対応する位置に同数の孔が対応して穿設された第3の電極と、第1ないし第3の電極に穿設された孔に対応する孔を複数個包含するスリット形状の孔が穿設され、接地電位に保持された第4の電極と、各電極間に電位差を与えるための電源とを有し、前記第4の電極には前記第1ないし第3の電極に穿設された孔から引き出され、成形された複数の負イオンビームが案内される一方、前記第3の電極には第4の電極のスリット形状の孔の長手方向と同じ方向に長軸、その短手方向に短軸を有する楕円形状の孔または円形の孔を穿設したことを特徴とする負イオン源。

IPC (4件)：

H01J 27/02 , G21B 1/11 , H01J 27/08 , H01J 37/08

FI (4件)：

H01J27/02 , G21B1/00 U , H01J27/08 , H01J37/08

Fターム (4件)：

5C030DD05 , 5C030DE04 , 5C030DG01 , 5C030DG06

引用特許：

出願人引用 (2件)

負イオン源
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-230859 出願人：株式会社東芝
負イオン源
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-394778 出願人：株式会社東芝

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