特許

J-GLOBAL ID：200903040883769560

加速度センサ

発明者： 石川 寛 ,  町田 敦司
出願人/特許権者： 富士通株式会社 ,  富士通メディアデバイス株式会社
代理人 (1件)： 河野 登夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-150196
公開番号（公開出願番号）：特開2002-296292
出願日： 2001年05月18日
公開日（公表日）： 2002年10月09日
要約：

【要約】【課題】 検出感度のばらつきを低減し、使用周波数帯域での検出感度の平坦性を向上できる加速度センサを提供する。【解決手段】 錘部2の一端部に、第1接着層4を介して振動子1が接着されている。振動子1の基板3に対向する端部は、2分割されていて電極5が形成されている。これらの電極5と基板3の表面に形成された電極6とは第2接着層7を介して接着されている。電極6の形成パターンは基板3の長辺に平行な軸X-Xについて対称であり、電極6夫々の厚さは同一である。基板3の機械共振周波数を加速度センサ10の使用周波数帯域外に設定する。

請求項（抜粋）：

滑り振動が生じる振動子と、該振動子に連なっており、前記振動子にそれ自身を加えたものの重心位置と異なる位置で支持されている錘部とを備え、加速度が加わった場合に前記錘部に発生する支持点を中心とした回転モーメントを滑り振動として前記振動子で検出する加速度センサにおいて、前記振動子と電気的に導通する複数の電極を有する矩形状の基板を備えており、前記複数の電極の形成パターンが前記基板の少なくとも1辺に平行な軸に対して対称であり、前記複数の電極夫々の厚さが実質的に等しいことを特徴とする加速度センサ。

IPC (2件)：

G01P 15/09 ,  H01L 41/08

FI (2件)：

G01P 15/09 ,  H01L 41/08 Z

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 圧電型振動センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-005465   出願人：株式会社フジクラ
• 半導体加速度センサー装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-069696   出願人：三菱電機株式会社
• 加速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-265055   出願人：富士通株式会社