特許
J-GLOBAL ID：200903040888303429
回折型薄膜圧電マイクロミラーおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
朝日奈 宗太
, 秋山 文男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-300211
公開番号（公開出願番号）：特開2005-141208
出願日： 2004年10月14日
公開日（公表日）： 2005年06月02日
要約：
【課題】圧電駆動方式によりマイクロミラーの駆動を可能にして、変位、駆動速度、信頼性、線形性および低電圧駆動確保に優れた回折型薄膜圧電マイクロミラーおよびその製造方法を提供する。【解決手段】中央部にエアスペースを提供するための陥没部が形成されたシリコン基板と、リボン形状を取っており、中央部が前記基板の陥没部から離隔するように、両端の下面がそれぞれ前記基板の陥没部を外れた両側に付着され、薄膜の圧電材料層を含み、前記圧電材料層に電圧が印加されると、前記陥没部から離隔した部分が上下に駆動され、入射ビームを回折させる圧電ミラー層とを含んでなる。【選択図】図10i
請求項（抜粋）：
中央部にエアスペースを提供するための陥没部が形成された基板と、
リボン形状を取っており、中央部が前記基板の陥没部から離隔するように、両端の下面がそれぞれ前記基板の陥没部を外れた両側に付着され、薄膜の圧電材料層を含み、前記薄膜の圧電材料層に電圧が印加されると、前記陥没部から離隔した部分が上下に駆動され、入射ビームを回折させる圧電ミラー層とを含んでなることを特徴とする回折型薄膜圧電マイクロミラー。
IPC (9件)：
G02B26/08
, B81B3/00
, B81C1/00
, G02B26/06
, H01L41/09
, H01L41/18
, H01L41/187
, H01L41/22
, H02N2/00
G02B26/08 E
, B81B3/00
, B81C1/00
, G02B26/06
, H02N2/00 B
, H01L41/08 C
, H01L41/18 101B
, H01L41/18 101D
, H01L41/18 101Z
, H01L41/22 Z
2H041AA13
, 2H041AB14
, 2H041AC08
, 2H041AZ02
, 2H041AZ08
出願人引用 (2件)
-
米国特許第5,311,360号明細書
-
大韓民国特許出願第10-2000-7014798号明細書
審査官引用 (8件)
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