特許
J-GLOBAL ID:200903040891592393

X線多層膜反射鏡

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-073535
公開番号(公開出願番号):特開平7-280999
出願日: 1994年04月12日
公開日(公表日): 1995年10月27日
要約:
【要約】【目的】 X線多層膜反射鏡の光学特性劣化をもたらす、多層膜の内部応力による基板変形を除去又は低減したX線多層膜反射鏡を提供すること。【構成】 少なくとも、基板3と、該基板3表面に軟X線領域での屈折率と真空の屈折率との差が大きい物質2と小さい物質1とを交互に多数回積層した多層膜と、からなるX線多層膜反射鏡において、前記基板3の裏面に、前記多層膜と等しい又は略等しい内部応力を有する薄膜4,5を形成してなることを特徴とするX線多層膜反射鏡。
請求項(抜粋):
少なくとも、基板と、該基板表面に軟X線領域での屈折率と真空の屈折率との差が大きい物質と小さい物質とを交互に多数回積層した多層膜と、からなるX線多層膜反射鏡において、前記基板の裏面に、前記多層膜と等しい又は略等しい内部応力を有する薄膜を形成してなることを特徴とするX線多層膜反射鏡。
引用特許:
審査官引用 (4件)
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