特許

J-GLOBAL ID：200903040905644138

角速度検出装置

発明者： 厚地 健一 ,  持田 洋一
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 広瀬 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-271678
公開番号（公開出願番号）：特開平10-096633
出願日： 1996年09月21日
公開日（公表日）： 1998年04月14日
要約：

【要約】【課題】 振動子と基板との間に発生するエアダンピングを小さくし、振動子の振動を大きくする。また、励振手段からのノイズが変位検出手段に漏洩するのを防止する。【解決手段】 基板22のうち、振動子33の下側に位置する部位に多数の連通孔30を形成する。これにより、振動子33が矢示Z方向に振動したとき、振動子33と基板22との間に存在する気体は各連通孔30を通過して基板22の裏面側に流出するため、エアダンピングを小さくできる。また、基板22に凹陥部28を設け、基板22のうち変位検出電極37の下側に位置する部位を絶縁膜24のみからなる薄肉部29とする。

請求項（抜粋）：

基板と、該基板の表面に固着して設けられた支持部と、基端側が該支持部に設けられた支持梁と、該基板の表面から離間した状態で前記支持梁の先端側に支持され前記基板に対して変位可能な振動子と、該振動子を一定の励振方向に振動させる励振手段と、該励振手段により前記振動子を励振方向に振動させた状態で角速度が作用したときに、該角速度に対応して前記振動子が励振方向と直交する方向に変位するのを検出する変位検出手段とからなる角速度検出装置において、前記基板には前記振動子と対向する位置に該基板の表面側と裏面側との間を連通する連通孔を設け、該連通孔により前記基板の表面側と裏面側との間で気体を流通させる構成としたことを特徴とする角速度検出装置。

IPC (2件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04

FI (2件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 角速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-046577   出願人：株式会社村田製作所
• 角速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-230396   出願人：株式会社村田製作所