ディスク製造用エアートラック搬送システム

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡田数彦
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-573339
公開番号（公開出願番号）：特表2004-530242
出願日： 2002年03月13日
公開日（公表日）： 2004年09月30日
要約：

【課題】磁気記録媒体搬送用に最適なエアートラックシステムであって、機械的拘束手段との接触を最小限に出来、かつ、ディスクを支持するための空気による汚染を低減し得るエアートラックシステムを提供する。【解決手段】エアートラックは、複数の吐出口(308)と、凹状上面(304)又は切欠き部(504)が設けられた平坦面とを有する装置本体から構成される。また、装置本体は、その長さ方向に沿って延設されたエアーフィルター(404)を有する。エアーフィルターは、装置本体を第1の空間部(302)及び第2の空間部(402)に分割する。更に、エアートラックは、フード(416)と、ディスク検知器(620)を有するストッパー装置(650)とを備えている。【選択図】図3A

請求項（抜粋）：

凹状上面に複数の空気吐出口を有する装置本体から成ることを特徴とするディスク搬送用エアートラック。

IPC (6件)：

G11B7/26 , B65G47/88 , B65G49/07 , B65G51/03 , G11B5/84 , H01L21/68

FI (7件)：

G11B7/26 531 , B65G47/88 B , B65G49/07 J , B65G51/03 D , G11B5/84 Z , H01L21/68 A , H01L21/68 L

Fターム (23件)：

3F017EA08 , 3F017EB07 , 3F017FA02 , 3F017FA06 , 3F017FB02 , 3F017FC01 , 5D112KK02 , 5D121AA02 , 5D121JJ02 , 5D121JJ03 , 5D121JJ04 , 5D121JJ09 , 5F031CA01 , 5F031FA02 , 5F031FA07 , 5F031GA62 , 5F031JA06 , 5F031JA22 , 5F031JA40 , 5F031LA13 , 5F031LA14 , 5F031LA15 , 5F031NA13

引用特許：

出願人引用 (6件)

特開平3-270150
特開平3-198655
特開平4-025152

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審査官引用 (6件)

特開平3-270150
特開平3-198655
特開平4-025152

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