特許
J-GLOBAL ID：200903040933372879

カーボンナノチューブの製造方法

発明者：
岡本 篤人

岡本 篤人 について


出願人/特許権者：
株式会社豊田中央研究所

株式会社豊田中央研究所 について


代理人 (1件)： 上野 登
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-079379
公開番号（公開出願番号）：特開2005-263564
出願日： 2004年03月19日
公開日（公表日）： 2005年09月29日
要約：
【課題】 基板表面に対してほぼ垂直に配向しており、かつ、CNTの直径、層数及び数密度を制御することが可能なカーボンナノチューブの製造方法を提供すること。【解決手段】 本発明に係るカーボンナノチューブの製造方法は、2次元規則配列した開口部を有し、かつ該開口部に合成用触媒又はその前駆体を担持させた基体を調製する基体調製工程と、前記基体表面に炭素含有化合物ガスを供給し、前記炭素含有化合物ガスを熱分解させる熱分解工程とを備えていることを要旨とする。この場合、前記熱分解工程は、前記基体又は前記基体を保持する基体保持体に、相対的に負のバイアス電圧を印加した状態で、前記炭素含有化合物ガスを熱分解させるものが好ましい。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
2次元規則配列した開口部を有し、かつ該開口部に合成用触媒又はその前駆体を担持させた基体を調製する基体調製工程と、 前記基体表面に炭素含有化合物ガスを供給し、前記炭素含有化合物ガスを熱分解させる熱分解工程とを備えたカーボンナノチューブの製造方法。
IPC (1件)：
C01B31/02
FI (1件)：
C01B31/02 101F
Fターム (19件)：
4G146AA11 ,  4G146AC22B ,  4G146AD23 ,  4G146AD24 ,  4G146AD29 ,  4G146BA11 ,  4G146BA48 ,  4G146BB22 ,  4G146BB23 ,  4G146BC03 ,  4G146BC09 ,  4G146BC16 ,  4G146BC18 ,  4G146BC25 ,  4G146BC27 ,  4G146BC37B ,  4G146BC38B ,  4G146BC44 ,  4G146BC47
引用特許：
出願人引用 (6件)
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