光導波路膜の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：五十嵐清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-094534
公開番号（公開出願番号）：特開平8-262252
出願日： 1995年03月28日
公開日（公表日）： 1996年10月11日
要約：

【要約】【目的】均一な膜厚の光導波路膜を形成することができる光導波路膜の製造方法を提供する。【構成】回転運動を行う回転テーブル6上に基板4を載置し、回転テーブル6とは独立に、径線R上で往復直線移動を行うトーチ3を基板4の表面側に基板4と間隔を介して配設し、vb(t)=(r0 /r(t))・vb0 の制御式に基づいてトーチ3の移動速度vb(t)がトーチ3の回転テーブル回転中心Cからの距離r(t)に反比例するように制御しながら、トーチ3から基板4の表面にガラス微粒子を噴射して積層微粒子層を形成する。X={vb0 ・t/(r±vb0 ・t)}2 として、トーチ移動速度vb(t)の制御式からトーチ3の距離r(t)をr(t)=r・(1±vb0 ・t/r0 )・(1-ax-bx2 -cx3 -dx4 )の式に多項式展開して各定数a〜dを決定し、トーチ移動速度の制御式に代入してトーチ3の移動速度を制御する。

請求項（抜粋）：

回転運動を行う回転テーブル上に基板を載置し、該回転テーブルとは独立に該回転テーブルの回転中心位置を通る径線上で往復直線移動を行うトーチを前記基板の表面側に該基板と間隔を介して配設し、前記回転テーブル回転中心位置からトーチ初期位置までの前記径線方向の距離をr0 、該トーチの初期移動速度をvb0 、前記回転テーブル回転中心位置から時刻tにおけるトーチの位置までの前記径線方向の距離をr(t)、時刻tにおけるトーチの移動速度をvb(t)としたときに、vb(t)=(r0 /r(t))・vb0 の制御式に基づいて、時刻tにおけるトーチの移動速度vb(t)が時刻tにおけるトーチの回転テーブル回転中心位置からの前記径線方向の距離r(t)に反比例するように制御しながら、該トーチから前記基板表面に導波路形成用微粒子を噴射して単位微粒子層を形成する操作を複数回反復することにより積層微粒子を形成し、然る後に該積層微粒子層に加熱処理を施して光導波路膜を形成する光導波路膜の製造方法であって、X={vb0 ・t/(r0 ±vb0 ・t)}2 として前記トーチ移動速度vb(t)の制御式から前記時刻tにおけるトーチの距離r(t)を定数a,b,c,dを含む、r(t)=r0 ・(1±vb0 ・t/r0 )・(1-ax-bx2 -cx3 -dx4 )の式に多項式展開し、この展開式の各定数a,b,c,dをそれぞれ決定して前記トーチ移動速度vb(t)の制御式に代入することにより該トーチの移動速度vb(t)を制御することを特徴とする光導波路膜の製造方法。

IPC (3件)：

G02B 6/13 , C03B 8/04 , C03B 19/14

FI (3件)：

G02B 6/12 M , C03B 8/04 , C03B 19/14

引用特許：

審査官引用 (2件)

光導波路の作製方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-164491 出願人：住友電気工業株式会社
火炎堆積方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-168656 出願人：古河電気工業株式会社

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